[实用新型]一种防止溢胶粘连装置

说明书

本实用新型公开了一种防止溢胶粘连装置，包括壳体，壳体的前侧壁设有操作窗，壳体的内腔固定装配有工作台，工作台的上表面固定安装有基台，基台与工作台之间装配有真空装置。壳体的内腔上侧壁通过液压伸缩杆固定装配有固化器，固化器的下侧壁固定装配有模板固定装置。通过本装置在压印的过程中，溢出的胶体通过阻胶板的阻挡，使溢出的胶体不能向下流动，避免了胶体进入到基片和基台之间，从而避免了基片粘连在基台上，方便基片取放，保护了基片，降低了生产成本，溢出的胶体不能进入基台表面和真空槽内，基台始终保持洁净，减小了工作人员的工作量，同时保护了真空装置，提高了真空装置使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印技术领域，具体为一种防止溢胶粘连装置。

背景技术

纳米压印技术通过机械转移的手段达到了超高的分辨率，是一种新型的微纳加工技术，纳米压印的基本步骤包括在基片上涂覆胶液，压印，固化，分离等，压印胶的涂覆方式有旋涂、滴胶、滚涂、喷雾等方式，其中旋涂最为常见，旋涂原理即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液，旋转速度，旋转时间和基片间的粘滞系数而不同。

在进行纳米压印时，基台通过真空吸附固定基片。在实际操作中，一旦发生溢胶现象，溢出的胶体在流动至基片和基台之间的缝隙时，溢出的胶体从基片与基台之间被吸入，从而导致溢出的胶体吸入到真空槽和真空孔内，胶体在真空槽和真空孔中流动固化，一方面会造成基片粘在基台上难以分离，强行将基片从基台分离将导致基片破裂，并且在清理粘在基片背面的胶体时容易刮伤基片。

除此之外，溢出的胶体残留在基台表面及真空槽中，难以清理。溢出的胶体从真空孔进入气管内，造成真空泵与真空槽之间的气管堵塞，从而导致真空泵无法吸出真空槽内空气，无法形成负压固定基片，严重时，胶体沿气道进入真空泵，导致真空泵损坏，影响设备寿命增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防止溢胶粘连装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种防止溢胶粘连装置，包括壳体，所述壳体的前侧壁设有操作窗，所述壳体的内腔固定装配有工作台，所述工作台的上表面固定安装有基台，所述基台与工作台之间装配有真空装置，所述壳体的内腔左、右侧壁对称固定安装有防溢胶装置，所述防溢胶装置与工作台之间设有限位机构，所述壳体的内腔上侧壁通过液压伸缩杆固定装配有固化器，所述固化器的下侧壁固定装配有模板固定装置。

优选的，所述真空装置包括固定安装在工作台内腔的真空泵，所述真空泵的输出端通过真空传感器固定连接有气管，所述气管插接至基台的真空槽内，所述真空槽均匀开设在基台的上表面。

优选的，所述防溢胶装置包括固定安装在壳体内腔侧壁的电机，所述电机的输出端固定连接转动螺杆的一端，所述转动螺杆的另一端螺接有阻胶板。

优选的，所述限位机构包括开设在工作台上表面的限位槽，所述限位槽内滑动连接有限位块，所述限位块的顶部与防溢胶装置固定连接，所述限位块的下侧壁开设有安装槽，所述安装槽内固定安装有滚珠轴承。

优选的，所述模板固定装置包括支撑板，所述支撑板的中心处通过密封圈装配有石英板，所述支撑板的下侧壁固定安装有模板固定件，所述支撑板内装配有压力传感器。

优选的，所述壳体的前侧壁开设有观察窗，且壳体的底部四角处固定安装有万向轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种防止溢胶粘连装置，本装置的操作更加简便、适用范围更加广泛，通过本装置在压印的过程中，溢出的胶体通过阻胶板的阻挡，使溢出的胶体不能向下流动，避免了胶体进入到基片和基台之间，从而避免了基片粘连在基台上，方便基片取放，保护了基片，降低了生产成本，溢出的胶体不能进入基台表面和真空槽内，基台始终保持洁净，减小了工作人员的工作量，同时保护了真空装置，提高了真空装置使用寿命。