[实用新型]一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具

权利要求书

1.一种用于晶圆保持环铣槽加工的自定心夹具，其特征在于，所述的自定心夹具包括带凹槽的夹具底座，所述夹具底座的凹槽内设置有夹具体，所述夹具体的顶部为内锥面，紧贴所述的夹具体外侧套设有弹性体，所述弹性体的顶部为外锥面，所述弹性体的外锥面与夹具体的内锥面相匹配；

所述的夹具体底部设置有与弹簧套连接的驱动部件，所述驱动部件用于带动弹性体上下移动；

所述的夹具底座上还设置有沿弹性体外周环设的定位件，晶圆保持环沿定位件外周放置，随着驱动部件带动弹性体下移，弹性体顶部的外锥面受到挤压推动定位件外扩，内撑卡紧晶圆保持环。

2.根据权利要求1所述的自定心夹具，其特征在于，所述的夹具体底部开设凹槽，所述的驱动部件嵌入凹槽内部。

3.根据权利要求2所述的自定心夹具，其特征在于，所述的驱动部件与凹槽内壁可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的自定心夹具，其特征在于，所述的驱动部件通过螺栓与凹槽内壁连接。

5.根据权利要求4所述的自定心夹具，其特征在于，所述的驱动部件包括动力机构和传动机构；

所述的传动机构连接拉盘，所述的拉盘外沿设置至少一个过度杆，所述的过度杆一端连接弹性件，驱动部件推动拉盘上下移动，拉盘借由过度杆带动弹性体随之上下移动，弹性体顶部的外锥面下移后受到挤压推动定位件外扩，定位件外扩后内撑固定晶圆保持环，弹性体顶部的外锥面上移后回复初始自由状态，定位件回收后放松卸下晶圆保持环。

6.根据权利要求5所述的自定心夹具，其特征在于，所述的驱动部件的传动机构与拉盘可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的自定心夹具，其特征在于，所述的驱动部件通过螺栓与拉盘可拆卸连接。

8.根据权利要求1所述的自定心夹具，其特征在于，所述的弹性体为弹簧套。

9.根据权利要求1所述的自定心夹具，其特征在于，所述的驱动部件为油缸；

所述的油缸的进油口和出油口分别外接进油管路和出油管路。

10.根据权利要求1所述的自定心夹具，其特征在于，所述的夹具底座底面沿周向设置有至少一个外螺纹柱，通过所述的外螺纹柱将夹具底座与铣床的操作台可拆卸连接。

11.根据权利要求1所述的自定心夹具，其特征在于，所述的定位件上沿周向开设至少一个排屑孔。