[实用新型]一种平板颗粒度检测设备

权利要求书

1.一种平板颗粒度检测设备，其特征在于，包括：

光源单元，用于出射检测光束；

匀光单元，所述匀光单元至少包括微透镜阵列组，所述匀光单元位于所述检测光束的传输路径上，所述检测光束经过所述匀光单元后，在所述匀光单元的焦面处形成泰伯点阵光束；入射至待测平板上的所述泰伯点阵光束，经所述待测平板中的异物散射形成待成像光束；所述待成像光束携带所述异物的粒度信息；所述泰伯点阵光束中相邻两束光束之间的间距小于所述异物的粒度尺寸；

成像单元，位于所述待成像光束的传输路径上，用于收集所述待成像光束并根据所述待成像光束对所述待测平板中的异物进行检测。

2.根据权利要求1所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述匀光单元还包括：第一整形透镜组，所述第一整形透镜组位于所述泰伯点阵光束的传输路径上，用于对所述泰伯点阵光束进行扩束或压缩。

3.根据权利要求1所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述微透镜阵列组包括两组微透镜阵列，每组所述微透镜阵列包括多个阵列排布的微透镜；每组所述微透镜阵列中微透镜的数目大于或等于20。

4.根据权利要求1所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述微透镜阵列组包括两组微透镜阵列，每组所述微透镜阵列包括多个阵列排布的微透镜；每组所述微透镜阵列中相邻微透镜之间的间距范围为0.2mm～3mm。

5.根据权利要求4所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，每组所述微透镜阵列中相邻微透镜之间的间距与所述微透镜阵列的焦距之间的比值小于1:15。

6.根据权利要求3-5任一项所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述微透镜阵列组包括第一微透镜阵列和第二微透镜阵列；所述第一微透镜阵列位于第一微透镜结构中，所述第二微透镜阵列位于第二微透镜结构中；

所述第一微透镜结构还包括第一平面；所述第二微透镜结构还包括第二平面；沿所述检测光束的传输路径，所述第一微透镜阵列、所述第一平面、所述第二平面和所述第二微透镜阵列依次排列。

7.根据权利要求3-5任一项所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述微透镜阵列组包括第三微透镜阵列和第四微透镜阵列，所述第三微透镜阵列和所述第四微透镜阵列均位于第三微透镜结构中。

8.根据权利要求1所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述光源单元包括：点光源和光源扩展组件，所述光源扩展组件位于所述点光源的出光侧，用于扩展所述点光源出射的点光束形成线光束。

9.根据权利要求8所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述点光源为相干光源。

10.根据权利要求8所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述光源扩展组件包括柱透镜和类柱透镜中的至少一个。

11.根据权利要求1所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，还包括第二整形透镜组，所述第二整形透镜组位于所述检测光束的传输路径上，用于准直所述检测光束。

12.根据权利要求1所述的平板颗粒度检测设备，其特征在于，所述成像单元包括第三整形透镜组和探测器，所述第三整形透镜组用于收集所述待成像光束；所述探测器用于接收所述待成像光束，并根据所述待成像光束对所述待测平板中的异物进行检测。