[实用新型]一种荧光靶探测器

权利要求书

1.一种荧光靶探测器，安装于光路真空管道上，包括与真空管道对接的四通真空腔体，该真空腔体沿水平方向与一观察窗连通，该观察窗正对一相机，该真空腔体沿竖直方向与一真空直线导入器连通，其特征在于，所述真空直线导入器中心有一连接杆，一端延伸入真空腔体内，并连接一荧光靶芯体，所述荧光靶芯体包括一荧光靶片，该荧光靶片与入射光成90°并沿竖直方向自上而下分隔为标定区和测量区。

2.根据权利要求1所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述标定区包括离子溅射的金属层以及该金属层上通过紫外光刻的靶标图形窗口。

3.根据权利要求2所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述靶标图形窗口分别在水平和垂直方向提供亚微米精度的尺寸，包括周期性排列的周期常数或单独的图形上的尺寸。

4.根据权利要求1所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述荧光靶芯体还包括一反光镜，所述反光镜与荧光靶片成45°设置。

5.根据权利要求4所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述荧光靶片固定在一靶片固定架上，该靶片固定架与所述反光镜均固定在一顶部固定支板上，所述顶部固定支板与所述连接杆相连。

6.根据权利要求1或5所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述连接杆的延伸出真空腔体的另一端与一电机相连。

7.根据权利要求1所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述荧光靶探测器上安装有多个测量设备姿态的靶标座。

8.根据权利要求2所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述离子溅射的金属层的厚度为100nm，材料为Cr、Ti、Al或Au。

9.根据权利要求1所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述荧光靶片的有效发光层厚度小于等于0.2mm。

10.根据权利要求1或9所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述荧光靶片的材料为掺杂Ce的YAG薄片、抛光多晶CVD金刚石片或LYSO。

11.根据权利要求4或5所述的荧光靶探测器，其特征在于，所述反光镜采用表面金属化的抛光硅片或化学抛光的不锈钢片。