[实用新型]防止硅片粘连的硅片承载器

权利要求书

1.一种防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，包括承载器框架，所述承载器框架的立面设有多个纵向齿，相邻的所述纵向齿之间形成纵向卡位，所述承载器框架的底部设有多个卡槽；所述卡槽与所述纵向卡位一一对应，多个所述卡槽的最低点均靠近其所对应的所述纵向卡位的纵向中心的相同一侧。

2.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述卡槽的横截面为V形形状。

3.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述卡槽的底部为平滑的弧面。

4.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述纵向齿设有第一过渡弧面。

5.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述承载器框架的底部设有多个凸起的底部齿，所述卡槽由所述底部齿间隔形成，所述底部齿的齿形为倒V形。

6.根据权利要求5所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述底部齿与所述纵向齿对应相连。

7.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述纵向齿设有支撑部，所述支撑部凸出于所述纵向齿的齿侧。

8.根据权利要求7所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述支撑部呈半球形。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，所述承载器框架的两个相对的立面分别设有第一组纵向齿和第二组纵向齿，所述第一组纵向齿与所述第二组纵向齿大小相同且一一对应。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的防止硅片粘连的硅片承载器，其特征在于，由聚偏氟乙烯制成。