[实用新型]一种共焦式准光学谐振腔的调准装置有效

专利信息
申请号: 202020313311.4 申请日: 2020-03-13
公开(公告)号: CN211878079U 公开(公告)日: 2020-11-06
发明(设计)人: 宋锡滨;杨宏伟;奚洪亮;艾辽东 申请(专利权)人: 山东国瓷功能材料股份有限公司
主分类号: G01R27/26 分类号: G01R27/26;G01N27/22
代理公司: 北京智桥联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11560 代理人: 洪余节
地址: 257091 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 共焦式准 光学 谐振腔 调准 装置
【权利要求书】:

1.一种共焦式准光学谐振腔的调准装置,其特征在于,包括两块平行且凹面正相对放置的凹面镜,此二者之间的空间构成了共焦式准光学谐振腔;所述共焦式准光学谐振腔内放置有样品固定架,该样品固定架的一端装有左右方向高解析度马达;一块凹面镜的圆周位置设有He-Ne激光器和感光装置且底端装有前后方向马达和左右方向马达,另一块凹面镜的圆周位置设有与所述He-Ne激光器相对应的感光装置以及与所述感光装置对应的He-Ne激光器且底端装有上下方向马达和左右方向马达,两块凹面镜的中部凹陷处均设有耦合环;所述左右方向高解析度马达以及两个所述左右方向马达均设置在稳定轴上。

2.根据权利要求1所述的调准装置,其特征在于,一块凹面镜的圆周位置设有一个He-Ne激光器和两个感光装置;相应的,另一块凹面镜的圆周位置设有一个感光装置和两个He-Ne激光器。

3.根据权利要求2所述的调准装置,其特征在于,设有两个He-Ne激光器之凹面镜的端部装有上下方向马达和左右方向马达,设有两个感光装置之凹面镜的端部装有前后方向马达和左右方向马达。

4.根据权利要求3所述的调准装置,其特征在于,各个He-Ne激光器以及各个感光装置分别以所在凹面镜上的耦合环为圆心,位于一定半径的同心圆上。

5.根据权利要求4所述的调准装置,其特征在于,同一凹面镜上各个He-Ne激光器和感光装置两两之间的圆心角为60°。

6.根据权利要求1所述的调准装置,其特征在于,各个He-Ne激光器以及各个感光装置的开孔直径小于1毫米。

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