[实用新型]一种直写式曝光机有效
| 申请号： | 202020313589.1 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN211741829U | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 段艳霞;夏天;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直写式 曝光 | ||
1.一种直写式曝光机，包括可移动的基板台面和标记装置，其特征在于，所述标记装置包括第一标记装置和第二标记装置，所述第一标记装置位于所述基板台面的至少一个边沿，所述第二标记装置位于所述基板台面的中心区域。
2.根据权利要求1所述的直写式曝光机，其特征在于：所述第二标记装置线性分布，所述第二标记装置的连线与所述基板台面的边沿具有倾斜角度。
3.根据权利要求1所述的直写式曝光机，其特征在于：所述第二标记装置的连线朝向所述基板台面的至少一个边角。
4.根据权利要求1所述的直写式曝光机，其特征在于：所述第二标记装置位于所述基板台面的内部，所述基板台面的气孔下方。
5.根据权利要求1所述的直写式曝光机，其特征在于：所述第二标记装置位于所述基板台面的内部，所述基板台面设置透光孔，所述第二标记装置通过透光孔发射光线。
6.根据权利要求1所述的直写式曝光机，其特征在于：所述第二标记装置位于所述基板台面的内部，彼此通过安装杆连接。
7.根据权利要求6所述的直写式曝光机，其特征在于：所述安装杆连接至旋转电机。
8.根据权利要求7所述的直写式曝光机，其特征在于：所述旋转电机位于所述第一标记装置所在基板台面边沿的端部。
9.根据权利要求1所述的直写式曝光机，其特征在于：所述第一标记装置位于所述基板台面相互垂直的边沿。
10.根据权利要求1所述的直写式曝光机，其特征在于：所述第一标记装置固定设置于所述基板台面。
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