[实用新型]用于废气处理装置的自动补水管路系统

说明书

本实用新型提供用于废气处理装置的自动补水管路系统，包括：洗涤室、三通阀、水槽和厂务，所述三通阀通过进水管连接厂务，所述三通阀通过水槽供水管连接水槽，所述三通阀通过洗涤室供水管连接洗涤室；所述水槽内还设置有PH检测仪，所述PH检测仪与下位机连接，所述下位机与三通阀连接，本专利申请利用三通阀实现内循环、外循环的切换，即当水槽内PH值在阈值范围内，水槽中的水体进过水槽供水管、三通阀、洗涤室供水管进入到洗涤室的喷淋头内，而当PH值超出阈值时，三通阀切换至外管路，即厂务输送水体直接至喷淋头内，同时排水泵将水槽中的水排至厂务，实现不停机的进水排水，保证废气的吸收效果，且水体循环使用后才排出，提高使用率节约水源。

技术领域

本实用新型属于自动补水管路领域，尤其涉及用于废气处理装置的自动补水管路系统。

背景技术

随着国内半导体领域的快速发展，工艺生产必然伴随着大量的废气产生，废气的处理则尤为重要，现ECS废气处理装置已经应用于半导体行业中，对于洗涤液工业用水的使用中，一次性使用吸附废气后进行排放虽然可以满足吸附效果，但对水资源产生巨大的浪费；由于废气的含量是动态变化的，只采用循环使用，吸附效果则不好控制。

因此在既要保证吸附效果的同时，又要使水的作用得到最大限度的使用是需要克服的难点。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供自动补水管路系统，满足ECS废气处理装置中吸附效果并提高水体的利用率，通过以下技术方案来实现：包括：洗涤室、三通阀、水槽和厂务，所述三通阀通过进水管连接厂务，所述三通阀通过水槽供水管连接水槽，所述三通阀通过洗涤室供水管连接洗涤室；所述水槽内还设置有PH检测仪，所述PH检测仪与下位机连接，所述下位机与三通阀连接。

优选的，所述水槽与厂务之间还连接有出水管，所述出水管上还安装有排水泵，所述排水泵与下位机连接。

优选的，所述水槽内设置有液位仪，所述液位仪与下位机连接。

优选的，所述下位机选用PLC。

本实用新型的有益效果：本专利申请利用三通阀实现内循环、外循环的切换，即当水槽内PH值在阈值范围内，水槽中的水体进过水槽供水管、三通阀、洗涤室供水管进入到洗涤室的喷淋头内，而当PH值超出阈值时，三通阀切换至外管路，即厂务输送水体直接至喷淋头内，同时排水泵将水槽中的水排至厂务，实现不停机的进水排水，保证废气的吸收效果，且水体循环使用后才排出，提高使用率节约水源。

附图说明

图1为本专利申请的系统原理图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

图1所示，本专利申请包括厂务、洗涤室、三通阀、水槽、下位机，所述三通阀采用电动三通阀，所述厂务通过进水管与三通阀进口连接，为ECS装置提供水源；三通阀的一个出水口通过水槽供水管连接水槽，所述水槽内安装有PH检测仪，如ZXPH-1，用于检测水槽内PH值，所述PH检测仪与下位机连接，所述下位机连接三通阀，三通阀的另一个出水口通过洗涤室供水管连接洗涤室，PH值阈值超标时下位机控制三通阀工作，为洗涤室提供水源。

优选的，所述水槽与厂务之间还连接有出水管，所述出水管上还安装有排水泵，所述排水泵与下位机连接，PH值超标时，下位机控制排水泵实现排水。

优选的，所述水槽内设置有液位仪，可选用TLS-350R型号但不限于该型号，所述液位仪与下位机连接，当水槽内液位超高或超低时，将信息反馈给下位机，用于控制进水或排水。

优选的，所述洗涤室内还设置有喷淋头，所述喷淋头与洗涤室供水管连接，即利用三通阀将水槽中的水体输送至喷淋头，喷淋头对洗涤室内的废气进行洗涤，洗涤后的水体循环至水槽内，构成一个内循环。