[实用新型]用于处理外延炉尾气的水洗管

说明书

本实用新型涉及处理外延炉尾气设备，具体涉及一种用于处理外延炉尾气的水洗管，包括水洗段，在水洗段上具有一个或多个水洗进口，水洗机构自水洗进口向水洗段内输送水洗用的第一水流，水洗段上还具有一个或多个冲洗进口，冲洗机构自冲洗进口向水洗段内输送冲洗水洗管内沉淀物的第二水流。本实用新型水洗管的结构能够有效的避免在尾气处理中在水洗管内产生的大量沉淀，保证外延炉内的负压保持在良好的状态，有效的解决了水洗管的进气口被堵塞的情况。

技术领域

本实用新型涉及处理外延炉尾气设备，具体涉及一种用于处理外延炉尾气的水洗管。

背景技术

目前外延生长中排出的尾气在国内主要有两种处理方式：第一种，是湿式处理法，就是用自来水与尾气反应，把可处理的尾气溶于水中或反应后沉积在水中，而对于无法溶于水的特气如：H₂、N₂经过尾气处理装置排放口排放。第二种，就是燃烧式处理法，也就是在第一种方式处理对尾气中的H₂经过燃烧变成H₂O，剩下N₂以排放口排放于大气中。

外延的尾气处理装置是与外延生长炉相配套的辅助设备，是用于处理外延生长中产生和排出的尾气，尾气进入处理装置以后与水进行充分的接触反应和吸收，使尽可能多的有害气体被吸收，仅留下不溶的N₂或H₂经排放口排入大气。水洗管则是连接于外延炉尾气出口与废气淋洗装置(POU)之间的管道。其主要作用是在将外延炉尾气输送至废气淋洗装置的同时，在水洗管内部先对尾气进行水洗降温，在水洗管的水洗段上具有水洗进口，水洗机构自水洗进口向水洗段内输送水洗用的水流，水流经过管壁能够对尾气进行水洗，在该过程中，由于尾气的水洗冷却会产生大量的沉淀，沉淀堆积在管道影响水洗进口的通畅，严重时，会影响到外延炉内的负压，从而影响到外延工艺。另一方面，在现有的水洗机构上会安装手动阀门，通过调整手动阀门的开度来第二进水管内的沉淀物，但是即使如此，每隔一段时间，每隔一段时间由于沉淀物变多堆积在水洗管进气口后这一结构会失去作用，无法清洗干净。

实用新型内容

本实用新型的主要目的之一在于解决水洗管水洗过程中发生的沉淀堆积问题，从而保持水洗管相对于外延炉反应腔的负压。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种用于处理外延炉尾气的水洗管，其结构如下：

包括水洗段，在水洗段上具有一个或多个水洗进口，水洗机构自水洗进口向水洗段内输送水洗用的第一水流，水洗段上还具有一个或多个冲洗进口，冲洗机构自冲洗进口向水洗段内输送冲洗水洗管内沉淀物的第二水流。

在本实用新型水洗管的某些实施例中，水洗机构具体包括与水洗进口对应的一个或多个水洗组件，各个水洗组件自对应的水洗进口向水洗段内输送水洗用的第一水流，所述的水洗组件包括与水洗进口连接的第一进水管和设置在第一进水管上的第一阀门，第一阀门控制第一进水管的开度和启闭。

在本实用新型水洗管的某些实施例中，冲洗机构具体包括一个或多个冲洗组件，各个冲洗组件自对应的冲洗进口向水洗段内输送冲洗水洗管内沉淀物的第二水流，所述的冲洗组件包括与水洗段连通的第二进水管和设置在第二进水管上的第二阀门，第二阀门用以控制其所在冲洗组件中的第二进水管的开度和启闭。

在本实用新型水洗管的某些实施例中，冲洗组件中的第二阀门优选采用自控阀。

在本实用新型水洗管的某些实施例中，自控阀采用由时间继电器控制的电磁阀。

在本实用新型水洗管的某些实施例中，水洗管还进一步包括第一支管部和第二支管部，第一支管部与第二支管部。

在本实用新型水洗管的某些实施例中，冲洗进口在水洗段上水洗进口的上游位置。

在本实用新型水洗管的某些实施例中，水洗进口优选沿水洗段周向对称布置，