[实用新型]一种真空镀膜机物件放置架有效
申请号: | 202020323998.X | 申请日: | 2020-03-16 |
公开(公告)号: | CN211972435U | 公开(公告)日: | 2020-11-20 |
发明(设计)人: | 杨林生 | 申请(专利权)人: | 合肥聚盛真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 浙江专橙律师事务所 33313 | 代理人: | 邢万里 |
地址: | 230601 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 物件 放置 | ||
本实用新型公开了一种真空镀膜机物件放置架,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体一侧固定设置有连接件,所述连接件远离真空镀膜机本体的一侧通过转轴活动设置有箱门,所述箱门内部设置有旋转机构,所述旋转机构包括顶板、转动杆、底板、底座、第一齿轮、第二齿轮,所述箱门内部上端通过转轴活动设置有顶板,所述顶板下端表面通过轴承活动设置有若干转动杆,所述转动杆下端通过轴承活动设置有底板,所述箱门内侧下端中部固定设置有底座,所述底座上端固定设置有第一齿轮。本实用新型使用效果好,可以在顶板和底板转动的同时带动转动杆也发生自转,从而可以提高装置镀膜时的镀膜均匀度,提高其镀膜效果。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,具体为一种真空镀膜机物件放置架。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
但是目前使用的真空镀膜机在工作时,往往只是直接带动物件放置架整体进行转动,从而使得所有物件一并进行转动,而无法带动物件自身进行自转,从而无法进一步提高物件镀膜时的均匀度。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机物件放置架,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机物件放置架,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机本体一侧固定设置有连接件,所述连接件远离真空镀膜机本体的一侧通过转轴活动设置有箱门,所述箱门内部设置有旋转机构,所述旋转机构包括顶板、转动杆、底板、底座、第一齿轮、第二齿轮,所述箱门内部上端通过转轴活动设置有顶板,所述顶板下端表面通过轴承活动设置有若干转动杆,所述转动杆下端通过轴承活动设置有底板,所述箱门内侧下端中部固定设置有底座,所述底座上端固定设置有第一齿轮,所述转动杆下端固定设置有第二齿轮,所述第一齿轮与第二齿轮之间相互啮合,所述箱门内部顶端通过安装座固定设置有电动机,所述电动机的输出轴端通过联轴器与顶板所在转轴之间传动连接。
优选的,所述转动杆外侧表面均匀固定设置有若干挂钩,通过挂钩可以方便悬挂需要进行镀膜的物件。
优选的,所述箱门内部下端四周开设有圆环滑槽,所述底板下端两侧均固定设置有滑块,所述滑块活动卡合设置在圆环滑槽内部,通过滑块卡合设置在圆环滑槽内部,可以提高底板旋转时的稳定性。
优选的,所述真空镀膜机本体下端固定设置有安装座,所述安装座上端表面四角处均开设有安装孔,通过安装座和安装孔可以方便将装置固定安装在目标区域。
优选的,所述箱门表面远离真空镀膜机本体的一侧固定设置有把手,通过把手可以方便开关箱门。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过电动机带动顶板和底板一并转动,从而带动所有转动杆一并转动,并且在底板和转动杆转动时,由于第一齿轮是固定不动的,第二齿轮会围绕第一齿轮进行转动,如此即可使得第二齿轮发生自转,从而带动转动杆发生自转,这样就可以保证所有物件在一起转动的同时还可以发生自转,从而可以进一步提高装置镀膜时的镀膜均匀度。
2、本实用新型在底板进行转动时,通过滑块卡合设置在圆环滑槽内部,可以提高底板旋转时的稳定性,从而可以防止底板在转动时发生左右晃动,影响装置的使用时效果。
附图说明
图1为本实用新型一种真空镀膜机物件放置架整体结构示意图;
图2为本实用新型一种真空镀膜机物件放置架第一齿轮与第二齿轮的啮合视图;
图3为本实用新型一种真空镀膜机物件放置架图1中A处的放大视图。
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