[实用新型]一种真空镀膜机腔体冷却装置有效

专利信息
申请号: 202020324863.5 申请日: 2020-03-16
公开(公告)号: CN211972429U 公开(公告)日: 2020-11-20
发明(设计)人: 杨林生 申请(专利权)人: 合肥聚盛真空科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 浙江专橙律师事务所 33313 代理人: 邢万里
地址: 230601 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 机腔体 冷却 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括底板,所述底板上端中心位置固定安装设置有镀膜机主体,所述镀膜机主体前端中心位置活动安装设置有门板,所述底板上端在镀膜机主体两侧端位置均垂直固定设置有壳体,所述镀膜机主体内侧壁上固定设置有第一蛇形管,所述镀膜机主体上端中心位置固定安装设置有储水箱,所述储水箱内部底端中心位置固定安装设置有水泵,所述水泵右侧端中心位置固定安装设置有第二蛇形管,所述储水箱左侧上端固定安装设置有第三蛇形管。本实用新型启动水泵与散热风扇,水泵将储水箱内部的水源泵入第二蛇形管内部位置,然后经过右侧壳体流入第一蛇形管内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体内部进行快速降温。

技术领域

本实用新型涉及加工设备领域,具体为一种真空镀膜机腔体冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种;主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的真空镀膜机在使用后一般通过自然冷却进行降温,降温速度慢,影响加工的效率,所以急需要一种装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机腔体冷却装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括底板,所述底板上端中心位置固定安装设置有镀膜机主体,所述镀膜机主体前端中心位置活动安装设置有门板,门板便于镀膜机主体的开启,所述底板上端在镀膜机主体两侧端位置均垂直焊接固定设置有壳体,所述镀膜机主体内侧壁上镶嵌固定设置有第一蛇形管,所述镀膜机主体上端中心位置固定安装设置有储水箱,所述储水箱上端开设有补水孔,所述储水箱内部底端中心位置固定安装设置有水泵,所述水泵右侧端中心位置固定安装设置有第二蛇形管,所述储水箱左侧上端固定安装设置有第三蛇形管,所述镀膜机主体两侧端位置均水平固定穿插设置有导热棒,所述导热棒外侧端延伸至相邻所述壳体内部位置,所述壳体前端均匀镶嵌固定设置有若干个散热风扇,利用镀膜机主体镀膜完成后使用者启动水泵与散热风扇,水泵将储水箱内部的水源泵入第二蛇形管内部位置,然后经过右侧壳体流入第一蛇形管内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体内部进行快速降温,然后水源经过第三蛇形管回流至储水箱内部位置,并且在在回流过程中被左侧壳体镶嵌的散热风扇降温,同时使用时被右侧壳体镶嵌散热风扇再次降温,保证持续使用时的降温效果,并且储水箱内内部水源重复被利用,方便节约水源,而且温度通过导热棒传出,并且通过散热风扇被散热,从而进一步提高散热效果。

优选的,所述补水孔上端通过螺纹绕接固定设置有密封盖,密封盖便于密封补水孔。

优选的,所述第二蛇形管右侧端水平穿出储水箱右侧端位置,然后穿过右侧所述壳体内部位置,最后固定连接设置在第一蛇形管右侧端。

优选的,所述第三蛇形管穿过左侧所述壳体内部位置,之后固定连接设置在第一蛇形管左侧端。

优选的,所述散热风扇前端固定安装设置有保护网。

优选的,所述散热风扇与水泵均与外接电源电性连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、本实用新型启动水泵与散热风扇,水泵将储水箱内部的水源泵入第二蛇形管内部位置,然后经过右侧壳体流入第一蛇形管内部位置,利用流入的水流对镀膜机主体内部进行快速降温;

2、本实用新型水源经过第三蛇形管回流至储水箱内部位置,并且在在回流过程中被左侧壳体镶嵌的散热风扇降温,同时使用时被右侧壳体镶嵌散热风扇再次降温,保证持续使用时的降温效果,并且储水箱内内部水源重复被利用,方便节约水源,而且温度通过导热棒传出,并且通过散热风扇被散热,从而进一步提高散热效果。

附图说明

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