[实用新型]一种排气取样装置及湿法清洗机有效
| 申请号： | 202020328502.8 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN211927419U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 蒋峥勇 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/22 | 分类号： | G01N1/22;G01L19/12;H01L21/67;B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 排气 取样 装置 湿法 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种排气取样装置，用于监控湿法清洗机的排气变化，其特征在于，包括取样管，所述取样管具有相对的取样端和排气端，所述取样端位于湿法清洗机的排气管内并对所述排气管内的排气进行取样，所述取样端包括呈一定夹角的第一管路和第二管路，所述第二管路的一端与所述排气端的一端连接，所述第二管路的另一端与所述第一管路的一端连接，所述第一管路的另一端朝向所述排气管内的排气方向。
2.如权利要求1所述的排气取样装置，其特征在于，所述第一管路的另一端为取样口，所述取样口为斜口。
3.如权利要求1所述的排气取样装置，其特征在于，还包括三通阀，所述三通阀与所述排气端的另一端连接，向所述三通阀的一端通入气体，对所述取样管进行吹扫清理。
4.如权利要求3所述的排气取样装置，其特征在于，向所述三通阀的一端通入氮气。
5.如权利要求1所述的排气取样装置，其特征在于，所述排气取样装置还设有一压力传感器，所述压力传感器设置在所述取样管内。
6.如权利要求5所述的排气取样装置，其特征在于，所述压力传感器与一报警装置电连接。
7.一种湿法清洗机，其特征在于，包括如权利要求1-6任意一项所述的排气取样装置。
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