[实用新型]一种硼掺杂金刚石电极

权利要求书

1.一种硼掺杂金刚石电极，包括基层(1)，其特征在于：所述基层(1)的外表面设置有硼掺杂金刚石薄膜层(2)，所述基层(1)由第一被碳化金属层(3)、第二被碳化金属层(4)、第三被碳化金属层(5)和第四被碳化金属层(6)组成，所述第二被碳化金属层(4)设置在第一被碳化金属层(3)的外表面，所述第三被碳化金属层(5)设置在第二被碳化金属层(4)的外表面，所述第四被碳化金属层(6)设置在第三被碳化金属层(5)的外表面，所述硼掺杂金刚石薄膜层(2)包括平铺薄膜层(7)和凸起(8)，所述凸起(8)设置为多个，多个所述凸起(8)设置在平铺薄膜层(7)的外表面，所述硼掺杂金刚石薄膜层(2)的外表面设置有修复层(9)，所述修复层(9)包括第一纳米粒子层(10)和第二纳米粒子层(11)。

2.根据权利要求1所述的一种硼掺杂金刚石电极，其特征在于：

所述基层(1)的形状设为圆柱状，所述基层(1)中掺杂有硼元素。

3.根据权利要求1所述的一种硼掺杂金刚石电极，其特征在于：

所述第一被碳化金属层(3)采用的材料为碳化钛，所述第二被碳化金属层(4)采用的材料为碳化铌。

4.根据权利要求1所述的一种硼掺杂金刚石电极，其特征在于：

所述第三被碳化金属层(5)采用的材料为碳化钽，所述第四被碳化金属层(6)采用的材料为碳化钨。

5.根据权利要求1所述的一种硼掺杂金刚石电极，其特征在于：

所述凸起(8)的形状为棱柱状、圆锥状或球状，所述凸起(8)的高度为50nm-2.5μm。

6.根据权利要求1所述的一种硼掺杂金刚石电极，其特征在于：

所述平铺薄膜层(7)的厚度为2-6μm，所述修复层(9)采用纳米铂、纳米金、纳米银或纳米镍。

7.根据权利要求1所述的一种硼掺杂金刚石电极，其特征在于：

所述第一纳米粒子层(10)设置在平铺薄膜层(7)的外表面，所述第二纳米粒子层(11)设置在凸起(8)的外表面。