[实用新型]一种清洗机药液检测装置

说明书

本实用新型涉及掩膜版清洗技术领域，特别涉及一种清洗机药液检测装置，通过设置第一液位传感器和第二液位传感器用来控制清洗槽和储液槽往透光容器注入液体的量，操作人员可以根据清洗槽和储液槽溶液之间需要稀释药液比例来调整液位传感器在透光容器中的位置以实现待测药液的不同比例的稀释；分别在透光容器外部的相对两侧设置发光装置和光接收装置，光接收装置在透光容器外部的一侧相对的另一侧接收到透射光后进行光电转化，光接收装置与处理器电连接，光接收装置将转化后得到的电信号传输给处理器计算出有机物含量，能够给出药液中有机物颗粒的精确浓度，从而实现药液更换时机的准确判断，避免了目前经验性判断方法更换溶液的弊端。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版清洗技术领域，特别涉及一种清洗机药液检测装置。

背景技术

在当前有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称为OLED)制程技术中，用于真空蒸镀的掩模板非常重要和关键，该部件的精度与质量将直接决定OLED产品的显示效果与品质。掩模板(Mask)，特别是高精细金属掩模板(Fine metal Mask)，随着使用次数增加残留在上面的有机材料逐渐增多，会造成蒸镀区域精准度欠佳。在制程中，掩模板在循环使用前必须清除这些有机材料等杂质。目前的掩膜板清洗机一般使用溶解能力较强的如N-甲基吡咯烷酮等药液去除掩模板上的有机材料，但随着掩膜板清洗数量增多药液中的有机物颗粒增加致使药液浓度降低，导致其清洗能力下降，掩膜板的清洗效果不佳，因此需要更换药液以继续清洗，但目前操作人员并没有可参考的指标了解药液内杂质含量继而做出适合更换时间的判断，往往是根据药液的浑浊程度做出经验性判断，或者依据掩膜板清洗数量是否达到某一设定值，以上方式带来的问题是如果过早更换药液会浪费资源，制程中使用的药液价格非常昂贵，导致掩模板的清洗成本大大增加，如果过晚更换，则可能由于溶液内有机物浓度过大导致掩模板清洗效果差，影响OLED显示屏的显示效果与品质。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种能够提高检测准确性的清洗机药液检测装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种清洗机药液检测装置，包括清洗槽、透光容器、储液槽、发光装置、光接收装置、处理器、第一电磁阀和第二电磁阀；

所述清洗槽通过所述第一电磁阀与所述透光容器连接，所述储液槽通过所述第二电磁阀与所述透光容器连接，所述发光装置设置在所述透光容器外部一侧，所述光接收装置设置在所述透光容器外部一侧相对的另一侧，所述透光容器内部设有第一液位传感器和第二液位传感器且所述第一液位传感器和第二液位传感器位于不同的高度，所述处理器分别与所述第一电磁阀、第二电磁阀、光接收装置、第一液位传感器和第二液位传感器电连接。

进一步的，还包括第三电磁阀，所述清洗槽通过所述第三电磁阀与所述透光容器的排液口连接，所述第三电磁阀与所述处理器电连接。

进一步的，所述透光容器内侧壁上固定设有安装板，所述安装板上设有供第一液位传感器和第二液位传感器移动的滑槽。

进一步的，所述发光装置与所述透光容器外部一侧之间的距离和所述光接收装置与所述透光容器外部一侧相对的另一侧之间的距离相等。

进一步的，所述发光装置包括发光二极管，所述光接收装置内置方波转换电路，所述方波转换电路分别与所述发光二极管和处理器电连接。

本实用新型的有益效果在于：