[实用新型]一种尾气处理系统及镀膜设备

权利要求书

1.一种尾气处理系统，其特征在于，包括：

多级氟化氢过滤系统(1)，所述多级氟化氢过滤系统(1)的上游通过尾气进气管道(100)与尾气排放装置连通，所述多级氟化氢过滤系统(1)的下游与排气管道(200)连通，所述多级氟化氢过滤系统(1)包括至少两个沿尾气流动方向串联连接的氟化氢过滤器(11)，所述氟化氢过滤器(11)用于吸附所述尾气中的氟化氢；

单向通气组件(2)，所述单向通气组件(2)一端连通所述排气管道(200)，另一端连通外部大气，所述单向通气组件(2)被配置为利用压差向所述排气管道(200)中导入空气。

2.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述氟化氢过滤器(11)包括套筒(111)，所述套筒(111)中设置有滤芯(112)，所述套筒(111)由透明材质制成，所述滤芯(112)能够变色以显示其是否饱和失效。

3.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述单向通气组件(2)包括空气进气管道(21)，所述空气进气管道(21)一端连通所述排气管道(200)，另一端连通外部大气，所述空气进气管道(21)上设置有单向阀(22)。

4.根据权利要求3所述的尾气处理系统，其特征在于，所述单向通气组件(2)还包括连接在所述空气进气管道(21)和所述排气管道(200)之间的氟化氢过滤器(11)。

5.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统还包括三通阀门(3)，所述三通阀门(3)的入口连接所述尾气进气管道(100)，所述三通阀门(3)的第一出口连接所述多级氟化氢过滤系统(1)，所述三通阀门(3)的第二出口与所述排气管道(200)连通，所述入口选择性地与所述第一出口或所述第二出口连通。

6.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统还包括冷凝水收集器(4)，所述冷凝水收集器(4)设置在所述排气管道(200)的最低点，用于收集所述排气管道(200)回流的冷凝水。

7.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统还包括连接在所述尾气进气管道(100)中的集水器(5)，所述集水器(5)用于吸收所述尾气中的水分。

8.根据权利要求7所述的尾气处理系统，其特征在于，所述集水器(5)包括壳体，所述壳体中填装有吸水材料。

9.根据权利要求1-8任一项所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气处理系统还包括设置在所述多级氟化氢过滤系统(1)与所述排气管道(200)的连接处和/或所述排气管道(200)的排气口处的氟化氢浓度检测仪(6)。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括移动框架(300)和权利要求1-9任一项所述的尾气处理系统，所述尾气处理系统集成在所述移动框架(300)上。