[实用新型]激光剥蚀平台载样装置

权利要求书

1.一种激光剥蚀平台载样装置，包括具有载气入口和载气出口的密闭样品池、通过移动机构安装于该样品池中的靶座、固定在所述样品池表面的氟化钙玻璃片；其特征在于：

所述样品池由池壁上具有两个载气入口的池体(7)、将该池体密闭的池盖(1)构成，该池盖的表面开设有剥蚀窗口(16)，该剥蚀窗口的侧壁上开设有载气出口(15)，固定在池盖(1)表面的氟化钙玻璃片(14)将剥蚀窗口(16)密封；

所述移动机构由竖直安装在池体(7)中的至少两根轮轴(8)、固定在各轮轴(8)上的皮带轮(2)、侧立环绕在两皮带轮(2)上的皮带(12)、固定在其中一根轮轴(8)上的从动锥齿轮(9)、安装在池体(7)上并与该从动锥齿轮啮合的主动锥齿轮(10)构成；

所述靶座为多个，各靶座由固定在皮带(12)表面的样品舱(6)、位于样品舱(6)中的弹簧(5)、固定在样品舱(6)上的舱盖(4)构成。

2.根据权利要求1所述的激光剥蚀平台载样装置，其特征在于：剥蚀窗口(16)是由一个圆弧面(19)与两个呈八字形分布的平面(20)构成的凸轮状结构，载气出口(15)位于两平面(20)之间。

3.根据权利要求1或2所述的激光剥蚀平台载样装置，其特征在于：载气出口(15)位于池盖(1)的背面，所述两载气入口位于池体(7)的正面并靠近池底的位置，两载气入口对称地分布于载气出口(15)的两侧；载气出口(15)与固定在池盖(1)上的出气嘴(17)连接，各载气入口通过分别固定在池体(7)上的进气嘴(18)与三通管连接。

4.根据权利要求1或2所述的激光剥蚀平台载样装置，其特征在于：主动锥齿轮(10)与固定在池体(7)上的步进电机(11)连接。