[实用新型]一种材料电磁辐射性能测试探针台有效
申请号: | 202020336481.4 | 申请日: | 2020-03-17 |
公开(公告)号: | CN212031560U | 公开(公告)日: | 2020-11-27 |
发明(设计)人: | 胡呈祥 | 申请(专利权)人: | 中山米微科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R1/02;G01R29/08;G01B9/04 |
代理公司: | 中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙) 44286 | 代理人: | 邹建平 |
地址: | 528400 广东省中山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 材料 电磁辐射 性能 测试 探针 | ||
1.一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:包括扫描接收探头、用于调节扫描接收探头位置的扫描调节机构、用于放置被测件的载物台、支撑载物台的测试座、能够与被测件接触而导通的探针器,所述测试座上设有用于调整探针器位置的探针调节机构。
2.根据权利要求1所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:所述探针调节机构包括滑臂及带动滑臂前后移动的滑臂移动单元,所述载物台通过滑臂支撑,所述滑臂上设置有通过导轨与滑臂连接的滑板,所述滑板通过精密调节单元一带动而左右移动;所述滑板上设有通过导轨与滑板连接的升降板,所述升降板通过精密调节单元二带动而升降;所述升降板上设有能够带动探针器转动的角度微调机构。
3.根据权利要求2所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:所述角度微调机构包括两相对设置于升降板上的轴承座,该轴承座上设有能够转动的转轴,该转轴上固定有转座及转动块,该转座上设有转板组件,所述探针器设置于转板组件上,所述升降板上设有两角度螺纹调节钮,两角度螺纹调节钮分别位于转动块的相对两侧。
4.根据权利要求2所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:所述精密调节单元一包括螺纹调节钮一及复位弹簧,所述螺纹调节钮一与设置于滑臂上的L形板固定,且螺纹调节钮一中的调节螺杆能够穿过L形板推动滑板,所述滑板位于L形板上,所述复位弹簧一端与L形板连接,且复位弹簧的另一端与滑板连接。
5.根据权利要求2所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:所述精密调节单元二包括螺纹调节钮二、设置于滑板上的两侧板、转动叉,所述侧板上设有避让孔,所述转动叉位于避让孔中且侧板转动连接,所述螺纹调节钮二的调节螺杆能够推动转动叉从而通过转动叉带起升降板。
6.根据权利要求2所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:所述滑臂移动单元包括设置于测试座上的滑臂驱动电机、滑臂丝杠及滑臂导轨,所述滑臂与滑臂导轨上的滑臂滑块连接,所述滑臂驱动电机与滑臂丝杠连接。
7.根据权利要求1所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:还包括显微镜。
8.根据权利要求1所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:所述扫描调节机构包括设置于测试座上的支撑梁与滑动梁,所述支撑梁上设有梁移动单元一,所述支撑梁通过梁移动单元一带动而在支撑梁上移动,所述滑动梁上设有梁座板,所述梁座板通过梁移动单元二带动而在滑动梁上移动,所述梁座板上设有梁升板,梁升板通过梁移动单元三带动而在梁座板上移动,所述扫描接收探头设置于梁升板上。
9.根据权利要求2所述的一种材料电磁辐射性能测试探针台,其特征在于:所述滑臂上设有定位槽,所述载物台的边缘位于定位槽中。
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