[实用新型]一种用于测定He丰度的装置

权利要求书

1.一种用于测定He丰度的装置，其特征在于，其包括进样口、真空阀、气体纯化室、真空阀、压缩室、离子源；

进样口通过管路与气体纯化室连接，气体纯化室一端通过管路与离子源连接，离子源中设有法拉第杯；进样口与气体纯化室之间设有真空阀一，气体纯化室与离子源之间管路上依次设有真空阀二、真空阀三；真空阀二与真空阀三之间管路设有一分支管路，分支管路通过真空阀四与压缩室连接。

2.根据权利要求1所述装置，其特征在于，真空阀二与真空阀四之间设有真空阀五。

3.根据权利要求1所述装置，其特征在于，真空阀五靠近真空阀四。

4.根据权利要求1所述装置，其特征在于，离子源另一侧通过真空阀六、真空阀一与进样口连接。

5.根据权利要求1所述装置，其特征在于，气体纯化室另一端连接真空泵。