[实用新型]一种甩干机主轴密封装置

说明书

本实用新型公开了一种甩干机主轴密封装置，包括主轴本体，所述主轴本体的外侧套有轴套，所述轴套的一端设置有法兰盘，所述法兰盘的外侧设置有限位槽，所述法兰盘上开有固定孔，所述轴套的内侧设置有轴承嵌槽，所述轴承嵌槽内嵌有轴承，所述轴承的内圈与主轴本体之间通过套筒a连接固定，所述法兰盘上的限位槽内嵌有金属密封环，所述金属密封环的一侧开有注油孔，所述金属密封环的内侧设置有一圈环形油室，所述环形油室与注油孔的内端连通，所述法兰盘的固定孔上通过固定螺栓固定连接有套筒b，该实用新型，也保证甩干过程中，外部气体不易进来，保证了甩干过程中的气体质量。

技术领域

本实用新型涉及主轴密封技术领域，具体为一种甩干机主轴密封装置。

背景技术

湿法清洗工艺是晶圆较为常用的清洗工艺，该清洗工艺完成后需要对晶圆进行干燥，晶圆甩干机用于将潮湿的晶圆通过旋转及干燥使晶圆表面干燥。为了提高干燥洁净效果，业内采用往密封的甩干机筒体内通入洁净氮气，使设备具有强制干燥功能，晶圆在甩干的同时，附加氮气干燥作用，彻底去除晶圆表面的尘粒，让晶圆表面干燥。

因此，甩干机筒体的密封性显得尤为重要，直接影响到晶圆的干燥效果和最终的产品质量。目前，现有的晶圆甩干机的传动轴密封普遍存在密封效果差和转轴本身旋转密封体会产生容粉末碎屑的缺点，导致甩干后的晶圆表面异物率高，产品不良率较高，因此，发明一种甩干机主轴密封装置来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种甩干机主轴密封装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种甩干机主轴密封装置，包括主轴本体，所述主轴本体的外侧套有轴套，所述轴套的一端设置有法兰盘，设置的法兰盘方便连接固定密封结构。法兰盘的外侧设置有限位槽，所述法兰盘上开有固定孔，所述轴套的内侧设置有轴承嵌槽，所述轴承嵌槽内嵌有轴承，所述轴承的内圈与主轴本体之间通过套筒a连接固定，通过设置的轴承，便于主轴本体的旋转。法兰盘上的限位槽内嵌有金属密封环，设置的金属密封环可以起到密封的作用，金属密封环具有良好的耐磨性能，所述金属密封环的一侧开有注油孔，所述金属密封环的内侧设置有一圈环形油室，所述环形油室与注油孔的内端连通，设置的注油孔可以向环形油室内进行注油，设置的环形油室，环形油室的油可以将缝隙进行密封，起到良好的密封作用。法兰盘的固定孔上通过固定螺栓固定连接有套筒b，设置的套筒b可以套在主轴本体的外侧，将主轴本体封住。

优选的，所述套筒b与金属密封环之间相互接触，所述金属密封环的外侧设置有环形密封槽。

优选的，所述环形密封槽内垫有橡胶密封圈。

优选的，所述注油孔的外端设置有外螺纹，且外螺纹上螺纹连接有螺帽。

优选的，所述金属密封环位于橡胶密封圈的外侧垫有油封垫片，所述油封垫片的外侧垫有固定环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：该甩干机主轴密封装置，设计合理，结构简单，设置的法兰盘方便连接固定密封结构，通过设置的轴承，便于主轴本体的旋转，设置的注油孔可以向环形油室内进行注油，设置的环形油室，环形油室的油可以将缝隙进行密封，起到良好的密封作用，设置的套筒b可以套在主轴本体的外侧，将主轴本体封住，设置的螺帽可以将注油孔封住，防止密封油的泄露，该实用新型，也保证甩干过程中，外部气体不易进来，保证了甩干过程中的气体质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的局部结构示意图。

图中：1、主轴本体；2、法兰盘；3、限位槽；4、固定孔；5、固定螺栓；6、固定环；7、套筒a；8、金属密封环；9、轴承嵌槽；10、轴承；11、油封垫片；12、注油孔；13、环形油室；14、橡胶密封圈；15、轴套；16、套筒b；17、环形密封槽；18、螺帽。