[实用新型]一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架

权利要求书

1.一种适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，包括主框架和至少两组横杆组件；

主框架包括至少两根相互平行的竖杆和至少两根相互平行的横杆，各横杆两端分别固连两竖杆；

各横杆组件包括平行于主框架横杆的装片横杆，装片横杆两端分别可拆卸连接主框架的两根横杆；装片横杆上沿其长度方向至少设有一装片卡槽。

2.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，还包括定位杆，定位杆平行于主框架竖杆，且两端连接主框架横杆，中部贯穿各装片横杆。

3.根据权利要求2所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，定位杆固定安装于主框架的垂直中心位置；各装片横杆的长度方向中部设有与定位杆松配的贯通孔。

4.根据权利要求2或3所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，定位杆为螺纹杆，其两端螺纹连接主框架横杆，并通过螺帽定位；各装片横杆贯通孔两侧的定位杆上分别设有定位螺帽。

5.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，主框架的其中一个横杆的两端分别固连两竖杆顶端，该横杆背离主框架的一侧顶部设有U型槽。

6.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，还包括固连主框架的导向座，导向座上设有开口背离主框架的U型槽。

7.根据权利要求6所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，所述导向座数量为两个，主框架的两横杆的两端分别固连两竖杆的顶端和底端，两导向座分别固定于主框架的两横杆上。

8.根据权利要求6所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，所述导向座数量为1个，固定于主框架顶部横杆上；主框架底部还设有配重块，配重块可拆卸固定于主框架上。

9.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，装片横杆的上表面和下表面分别设置一卡槽。

10.根据权利要求1所述的适用于磁控溅射镀膜的立式装片架，其特征是，横杆组件还包括套环和定位螺钉，套环套设于主框架横杆外周，套环周部设有螺孔和销钉；定位螺钉通过与所述螺孔配合抵接主框架竖杆以固定装片横杆；装片横杆两端分别设有与所述销钉松配的销孔，装片横杆通过销孔与所述销钉连接。