[实用新型]辅助单晶生长的摇摆装置及大尺度单晶生长摇摆炉系统

权利要求书

1.一种辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，包括支撑架、横梁、电机和用于放置加热炉的摇摆笼；

所述横梁的两端活动架设于所述支撑架之上，所述摇摆笼位于所述横梁的下方且与所述横梁固定连接，所述横梁的一端与电机的转动轴连接。

2.根据权利要求1所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，所述横梁的两端部均套设有轴承，每个所述轴承与所述支撑架固定连接，以实现所述电机带动所述横梁在所述支撑架上转动。

3.根据权利要求2所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，所述支撑架包括两个相对设置的三角支架，每个所述三角支架的上端均通过对应的一个所述轴承与所述横梁活动连接。

4.根据权利要求1所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，所述摇摆笼包括笼本体和两个悬臂结构，每个悬臂结构均呈倒“V”形，两个所述悬臂结构与“V”形的开口对应的部位分别与所述笼本体的上部的相对两端连接，两个所述悬臂结构与“V”形的尖端对应的部位均与所述横梁固定连接。

5.根据权利要求4所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，所述笼本体为开放式方形框架结构，其包括顶部连接架、底部承重盘以及与所述顶部连接架和所述底部承重盘连接的四根连接杆。

6.根据权利要求5所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，四根所述连接杆中的其中一根为活动连接杆，所述活动连接杆的一端与所述底部承重盘铰接，另一端与所述顶部连接架可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，所述活动连接杆远离所述底部承重盘的一端与所述顶部连接架卡扣连接。

8.根据权利要求5所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，四根所述连接杆中的其中一根为活动连接杆，所述活动连接杆的相对两端分别与所述顶部连接架以及所述底部承重盘可拆卸连接。

9.根据权利要求1所述的辅助单晶生长的摇摆装置，其特征在于，所述摇摆装置还包括电机支架，所述电机设置于所述电机支架上。

10.一种大尺度单晶生长摇摆炉系统，其特征在于，包括加热炉和如权利要求1～9任一项所述的辅助单晶生长的摇摆装置，所述加热炉设置于所述摇摆笼内。