[实用新型]一种自动滴胶纳米压印设备有效

专利信息
申请号: 202020348494.3 申请日: 2020-03-19
公开(公告)号: CN211528907U 公开(公告)日: 2020-09-18
发明(设计)人: 冀然 申请(专利权)人: 青岛天仁微纳科技有限责任公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东省青岛市城阳区长城*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 纳米 压印 设备
【说明书】:

本实用新型公开了一种自动滴胶纳米压印设备,包括腔体,腔体的内腔通过升降装置固定连接有加热盘,加热盘的上表面固定装配有托盘,托盘内开设有第一真空槽,托盘通过第一真空槽真空吸附有基板,腔体的上侧壁通过连接架固定装配有承压板,承压板内开设有第二真空槽,安装架的上表面开设有滑槽,滑槽内滑动连接有自动滴胶装置。在腔体内设置有升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板,通过升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板完成纳米压印操作,在进行纳米压印的过程中,通过自动滴胶装置向基板的表面滴加光刻胶,从而不再需要使用到人工向基板的表面进行滴胶,大大提高压印的效率,降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及压印技术领域,具体为一种自动滴胶纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术是华裔科学家周郁在1995年发明的一项成本低廉、分辨率高的光刻技术。在纳米压印中,相当昂贵的光刻只需要用一次来制备印章,就可以大量生产复制品。因此纳米图案复制领域一直是各国科学家研究的热点,各种纳米压印设备也应运而生。在目前的纳米压印的过程中大多数采用人工滴胶的方式,通过此种方式进行滴胶,不仅浪费了大量的人力,而且不利于批量化的生产。为此,我们提出一种自动滴胶纳米压印设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动滴胶纳米压印设备,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种自动滴胶纳米压印设备,包括腔体,所述腔体的内腔通过升降装置固定连接有加热盘,所述加热盘的上表面固定装配有托盘,所述托盘内开设有第一真空槽,所述托盘通过第一真空槽真空吸附有基板,所述腔体的上侧壁通过连接架固定装配有承压板,所述承压板内开设有第二真空槽,所述承压板通过第二真空槽真空吸附有软膜,所述腔体的上侧壁固定安装有紫外灯,所述腔体的左侧壁固定安装有安装架,所述安装架的上表面开设有滑槽,所述滑槽内滑动连接有自动滴胶装置,所述腔体的左侧壁固定安装有电动伸缩杆,且电动伸缩杆的输出端插接至自动滴胶装置内。

优选的,所述升降装置包括固定安装在腔体内腔的升降台,所述升降台内固定安装有电机,所述电机的输出端固定连接有转动螺杆,所述转动螺杆的顶端螺接有固定块,所述固定块固定安装在加热盘的下侧壁,所述加热盘的下侧壁与腔体之间装配有定位机构。

优选的,所述定位机构包括固定安装在腔体内的固定管,所述固定管内插接有伸缩杆,所述伸缩杆的顶端与加热盘固定连接。

优选的,所述自动滴胶装置包括安装壳体,所述安装壳体内开设有装配槽,且安装壳体的右侧壁开设有定位槽,所述装配槽内固定安装有卡板,所述装配槽内装配有滴胶管。

优选的,所述滴胶管包括滴胶管主体,所述滴胶管主体内装配有推胶杆,所述推胶杆的一端固定安装有受力板,所述推胶杆的另一端固定安装有内部胶塞,所述滴胶管主体的插接有滴胶针头,所述滴胶针头的外侧壁套接有定位板,所述定位板通过定位螺栓与定位槽相螺接。

优选的,所述安装壳体的侧壁固定安装有限位块,所述限位块滑动连接于限位槽内,所述限位槽开设在滑槽的内侧壁。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:一种自动滴胶纳米压印设备,在腔体内设置有升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板,通过升降装置、加热盘、托盘、基板和承压板完成纳米压印操作,设置有安装架,在安装架内通过电动伸缩杆连接自动滴胶装置,在进行纳米压印的过程中,通过自动滴胶装置向基板的表面滴加光刻胶,从而不再需要使用到人工向基板的表面进行滴胶,大大提高压印的效率,降低了生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型自动滴胶装置的俯视图。

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