[实用新型]一种具有多管路排布水冷真空32寸坩埚模具

说明书

本实用新型提供一种具有多管路排布水冷真空32寸坩埚模具，包括一模具主体，模具主体包括模具筒身，模具筒身内设有一内模筒身，模具筒身和内模筒身之间设有第一真空管路和水路管道，水路管道排布在第一真空管路的外部，第一真空管路的顶部端口焊接有气管盖板；内模筒身下方设有一真空内壁，真空内壁围成一倒圆锥体状的结构，真空内壁的上端部与第一真空管路导通，真空内壁的下端部与第二真空管路导通，第二真空管路的末端插入并焊接在密封底板中，内模筒身的表面开设有等间距排布的通孔；模具筒身内还设有一模具支撑，模具支撑分别与模具筒身的内壁和真空内壁的外部焊接，模具筒身的底部焊接有模具底板，模具底板上设有用于穿过水路管道的孔洞。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备制造技术领域，具体涉及一种具有多管路排布水冷真空32寸坩埚模具。

背景技术

坩埚在制作时，需要模具按设定的速度旋转，向模具内注入石英砂，将石英砂均匀加入模具中，通过离心力的作用使石英砂附着在模具内壁上形成所需坩埚形状。在熔融加热模具过程中，模具需要真空环境，同时高温的工作环境需要对模具进行冷却。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种具有多管路排布水冷真空32寸坩埚模具，以解决上述至少一个技术问题。

本实用新型的技术方案是：一种具有多管路排布水冷真空32寸坩埚模具，包括一模具主体，所述模具主体包括模具筒身，所述模具筒身内设有一内模筒身，所述模具筒身和所述内模筒身之间设有第一真空管路和水路管道，所述水路管道排布在所述第一真空管路的外部，所述第一真空管路的顶部端口焊接有气管盖板；

所述内模筒身下方设有一真空内壁，所述真空内壁围成一倒圆锥体状的结构，所述真空内壁的上端部与第一真空管路导通，所述真空内壁的下端部与第二真空管路导通，所述第二真空管路的末端插入并焊接在一密封底板中，所述内模筒身的表面开设有等间距排布的通孔；

所述模具筒身内还设有一模具支撑，所述模具支撑分别与所述模具筒身的内壁和所述真空内壁的外部焊接，所述模具筒身的底部焊接有模具底板，所述模具底板上设有用于穿过水路管道的孔洞。

本实用新型通过焊接制作模具，牢固可靠内模一次成型，制作的坩埚尺寸精确。设置水路管道对模具进行冷却，保护模具，延长模具寿命。内模筒身上均匀分布的小孔通过结合真空内壁，连接到真空管路后可进行抽真空工作，提高坩埚品质。

所述模具底板与所述密封底板通过一连接环连接，且所述连接环与所述模具底板和所述密封底板对中焊接。

本实用新型通过连接环从而起到支撑模具底板的效果。

所述内模筒身的底部对中焊接有一水冷板，且所述真空内壁覆盖在所述水冷板的外部。

本实用新型通过水冷板能够进一步起到水冷降温的效果。

所述水路管道包括第一水路管道、第二水路管道、第三水路管道、第四水路管道和第五水路管道，所述第一水路管道焊接在所述模具筒身的内壁，且所述第一水路管道穿过所述模具底板，所述第一水路管道的末端通过一直角接头与第三水路管道焊接，所述第三水路管道通过直角接头与第四水路管道连接，所述第四水路管道的末端插入所述密封底板，所述第二水路管道穿过所述真空内壁与所述水冷板连接，所述第五水路管道的一端插入所述密封底板中，所述第五水路管道的另一端连接一水路转换头。

本实用新型通过不同的水路管道从而对模具起到不同位置的水冷效果。

所述密封底板的上表面对中焊接有一水路内壁，所述第五水路管道和所述水路转换头设置在所述水路内壁的内部。

从而提高水冷效果。

所述模具主体还包括一顶板，所述顶板与所述模具筒身、所述内模筒身对中焊接。密封结构可靠，水，真空均无泄漏。