[实用新型]一种气体传感器响应时间的快速测量装置

权利要求书

1.一种气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，包括多个气腔，多个气腔之间通过选择装置连接，所述选择装置包括传感器腔、可控开关及测试接口，待测传感器放置在所述传感器腔中，并通过所述测试接口连接外部测量电路；所述传感器腔与多个气腔连接，并由所述可控开关控制与各个气腔的连接通道的开闭。

2.如权利要求1所述气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，还包括与所述多个气腔相连的配气装置，所述配气装置包括多个质量流量控制器及混气装置，不同参数的气体由所述质量流量控制器控制输入，经过所述混气装置混合后得到预定参数的气体，再输入相应的气腔。

3.如权利要求2所述气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，所述配气装置还包括加湿装置，在需要加湿的情况下，气体通过所述加湿装置加湿，接着通过所述质量流量控制器，产生所需湿度的气体。

4.如权利要求2所述气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，所述配气装置还包括加热装置，在需要加热的情况下，气体通过所述加热装置加热，接着通过所述质量流量控制器，产生所需温度的气体。

5.如权利要求1至4任一项所述气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，所述气腔包括可控制开闭的进气装置、出气装置和真空装置。

6.如权利要求1至4任一项所述气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，还包括与所述多个气腔连通的尾气处理装置。

7.如权利要求1至4任一项所述气体传感器响应时间的快速测量装置，其特征在于，所述外部测量电路包括电阻﹑电容或电感测试仪。