[实用新型]一种用于薄膜检测的微米级调节装置

说明书

本实用新型公开了一种用于薄膜检测的微米级调节装置，属于薄膜检测领域。包括传输框架、设置在传输框架顶端的上固定架以及设置在传输框架底端的下固定架；上固定架包括设置在传输框架顶端并与传输框架滑动连接的上安装板、设置在上安装板底侧的多组上支架板、设置在上支架板上并与上支架板铰接的上挂耳板、设置在上挂耳板底侧的上导纸板以及设置在上导纸板内侧的上谐振腔；本实用新型通过不同位置的上固定孔与上角度调节孔配合进行微米级的角度调节，完成谐振腔上下断面与纸张的角度调节，提高了调节精度以及微波测量过程中的测量精度。

技术领域

本实用新型涉及薄膜检测技术领域，具体涉及一种用于薄膜检测的微米级调节装置。

背景技术

为了确保薄膜生产高效、经济、高质量，生产中物理参数的动态测量非常重要。传统生产中薄膜物理参量动态监测使用两种方法检测，一种是辐射法，另一种是光学法。辐射法会对环境造成辐射污染，对生产人员造成伤害，生产成本增加；光学法虽无污染，但是检测范围和精度受限，很难满足生产需要。如何高效、经济、安全的满足薄膜生产中物理参数的动态测量，是制约薄膜生产的一项关键技术。尤其是满足智能生产需求尤为迫切。

微波可以用于薄膜物理参数动态测量早有定论，而且很多文献报道，但用于生产实际中仅只有微波水份检测产品，其他未见报道。薄膜生产中，人们第一关心的物理参量是厚度或单位平方的重量，第二是水份浓度，目前薄膜生产中厚度的动态测量主要采用辐射法少量采用光学法，薄膜厚度和水份浓度使用同一装置完成动态测量未见报道。采用微波谐振腔方法同时测量薄膜厚度和水份浓度精度高，范围广，但是对上下两个端面的平行度和上下两部分间隙提出很高的精度要求，上下间隙变化0.1mm,被测薄膜厚度变化20%；同轴度变化0.1mm,被测薄膜厚度变化15%，但现有装置很难实现如此高精度的调节。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术的不足，提出了一种用于薄膜检测的微米级调节装置，具体技术方案如下：

一种用于薄膜检测的微米级调节装置，包括传输框架、设置在传输框架顶端的上固定架以及设置在传输框架底端的下固定架；

上固定架包括设置在传输框架顶端并与传输框架滑动连接的上安装板、设置在上安装板底侧的多组上支架板、设置在上支架板上并与上支架板铰接的上挂耳板、设置在上挂耳板底侧的上导纸板以及设置在上导纸板内侧的上谐振腔；

上支架板上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔，上角度调节孔的旋转圆心与上支架板和上挂耳板的铰接点重合，上支架板上设有多组与上角度调节孔对应的上固定孔，上固定孔内设有上固定螺栓，上固定螺栓依次穿过上角度调节孔和上固定孔并将上支架板和上挂耳板的位置固定。

作为优选，上安装板包括设置在传输框架顶端并与传输框架滑动连接的上连接板、设置在上连接板与上支架板之间的上箱底板以及设置在上连接板与上箱底板之间的上高度调节螺杆，上高度调节螺杆上并位于上箱底板底侧设有上限位块。

作为优选，上导纸板上并位于进纸侧和出纸侧均设有上导纸棍。

作为优选，上挂耳板的两侧设有上弧形销，上支架板上设有与上弧形销对应且形状为弧形的上销孔。

作为优选，下固定架包括设置在传输框架底端并与传输框架滑动连接的下安装板、设置在下安装板底侧的多组下支架板、设置在下支架板上并与下支架板铰接的下挂耳板、设置在下挂耳板顶侧并与上导纸板平行的下导纸板以及设置在下导纸板内侧的下谐振腔。

作为优选，下支架板下设有多组呈弧形分布的下角度调节孔，下角度调节孔的旋转圆心与下支架板和下挂耳板的铰接点重合，下支架板下设有多组与下角度调节孔对应的下固定孔，下固定孔内设有下固定螺栓，下固定螺栓依次穿过下角度调节孔和下固定孔并将下支架板和下挂耳板的位置固定。