[实用新型]固晶沾胶装置及固晶机有效
申请号: | 202020355183.X | 申请日: | 2020-03-19 |
公开(公告)号: | CN211350591U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 胡新荣 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B05C11/10 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐汉华 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固晶沾胶 装置 固晶机 | ||
1.固晶沾胶装置,包括沾胶机架、用于沾取胶液并点于支架上的沾胶摆臂装置和用于向所述沾胶摆臂装置供给胶液的供胶装置,所述供胶装置和所述沾胶摆臂装置均安装于所述沾胶机架上;其特征在于:所述供胶装置包括安装于所述沾胶机架上的供胶机架、用于盛装胶液的胶盘、驱动所述胶盘转动的旋转驱动机构和用于刮动所述胶盘中胶液的刮刀,所述刮刀、所述胶盘和所述旋转驱动机构均安装于所述供胶机架上。
2.如权利要求1所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述供胶装置还包括用于调节所述刮刀与所述胶盘底部间距的调节组件,所述调节组件安装于所述供胶机架上,所述刮刀安装于所述调节组件上。
3.如权利要求2所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述调节组件包括支撑座、滑动安装于所述支撑座上的滑动座、与所述滑动座相连的调节压杆和支撑所述调节压杆的压杆架,所述压杆架和所述支撑座均安装于所述供胶机架上,所述刮刀安装于所述滑动座上。
4.如权利要求1所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述供胶装置还包括支撑所述胶盘的托板,所述托板上开对应于所述沾胶摆臂装置的点胶位处开设有点胶开口,所述托板安装于所述供胶机架上。
5.如权利要求1所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述旋转驱动机构包括与所述胶盘中心相连的转轴、旋转驱动电机和连接所述旋转驱动电机与所述转轴的带传动组件,所述转轴和所述带传动组件转动安装于所述供胶机架上,所述旋转驱动电机安装于所述供胶机架上。
6.如权利要求1-5任一项所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述沾胶摆臂装置包括沾胶针、支撑所述沾胶针的沾针摆臂、驱动所述沾针摆臂升降的升降沾胶机构和驱动所述沾针摆臂水平摆动的摆臂驱动机构,所述摆臂驱动机构安装于所述沾胶机架上,所述升降沾胶机构与所述摆臂驱动机构相连,所述沾针摆臂安装于所述升降沾胶机构上。
7.如权利要求6所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述摆臂驱动机构包括摆动轴、与所述摆动轴相连的摇杆、推动所述摇杆摆动的第一偏心轮和驱动所述第一偏心轮转动的摆动电机,所述升降沾胶机构与所述摆动轴相连,所述第一偏心轮与所述摆动电机相连,所述摆动电机安装于所述沾胶机架上,所述摆动轴转动安装于所述沾胶机架上。
8.如权利要求6所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述升降沾胶机构包括摆动座、滑动安装于所述摆动座上的升降滑块、推动所述升降滑块升降移动的第二偏心轮和驱动所述第二偏心轮转动的升降沾胶电机,所述摆动座与所述摆臂驱动机构相连,所述沾针摆臂安装于所述升降滑块上。
9.如权利要求1-5任一项所述的固晶沾胶装置,其特征在于:所述固晶沾胶装置还包括用于点胶对位检测的点胶镜头,所述点胶镜头安装于所述沾胶机架上,所述点胶镜头正对所述沾胶摆臂装置的点胶位。
10.固晶机,其特征在于:包括如权利要求1-9任一项所述的固晶沾胶装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造