[实用新型]一种带自动滴胶功能的匀胶机

说明书

本实用新型公开了一种带自动滴胶功能的匀胶机，其包括工作台，所述工作台上壁面装配有操作箱，所述操作箱为无底箱体，所述操作箱内水平设置有安装板，所述安装板下壁面螺旋装配有安装架，所述安装架下壁面固定贯穿有点胶管，所述安装板下壁面固定安装有电动推杆，所述电动推杆位于安装架内，所述工作台内嵌装有第一电机，所述第一电机驱动端竖直向上穿出工作台进入到操作箱内，该带自动滴胶功能的匀胶机结构简单，设计合理，在匀胶过程中，省去了人工亲自操作过程，提高了生产效率，能够自动滴胶并精确控制滴胶量，有效减少浪费的同时保证了基片的洁净度，提高了成膜质量，提升产品良率，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种带自动滴胶功能的匀胶机。

背景技术

在半导体制造及纳米压印领域，首先需要在基片表面涂覆胶体成膜，然后进行后续光刻或压印工艺，以形成预定的图形层。

目前，最常用的成膜方式为匀胶机匀胶成膜，在晶圆或基片表面匀胶过程中，胶体滴在晶圆或基片中心位置，匀胶机旋转，使晶圆或基板表面均匀的涂覆一层胶体薄膜。

现有的匀胶机仅具备旋涂功能，匀胶前需要人工手动操作将胶体滴在基片中央，这种人工操作方式不易控制滴胶量，易造成浪费，其次，在人工手动操作过程中极易将灰尘等异物带进匀胶机，造成基片污染，匀胶后成膜质量下降，影响后续工艺，最终导致产品良率下降，生产成本增加，为此，我们提出一种带自动滴胶功能的匀胶机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带自动滴胶功能的匀胶机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带自动滴胶功能的匀胶机，其包括工作台，所述工作台上壁面装配有操作箱，所述操作箱为无底箱体，所述操作箱内水平设置有安装板，所述安装板下壁面螺旋装配有安装架，所述安装架下壁面固定贯穿有点胶管，所述安装板下壁面固定安装有电动推杆，所述电动推杆位于安装架内，所述工作台内嵌装有第一电机，所述第一电机驱动端竖直向上穿出工作台进入到操作箱内，所述第一电机驱动端与工作台之间转动连接，所述第一电机驱动端上装配有支撑座，所述支撑座上壁面开设有放置槽，所述支撑座内装配有真空泵，所述放置槽向下延伸开设有吸孔，所述吸孔与真空泵连通，所述第一电机、电动推杆以及真空泵电源输入端与中央控制系统连接，所述第一电机，电动推杆以及真空泵的信号输入端与中央控制系统信号输出端连接，所述工作台上壁面左侧装配有控制面板，所述控制面板与中央控制系统电性连接，且控制面板信号输出端与中央控制系统信号输入端连接，所述安装板上装配有升降结构；

所述点胶管包括胶管以及活塞杆，所述胶管固定贯穿安装架，所述活塞杆下端滑动位于胶管内，且活塞杆上端与电动推杆伸缩端固定连接。

所述升降结构包括安装于操作箱上壁面的第二电机，所述第二电机驱动端竖直向下进入到操作箱内，且第二电机驱动端与操作箱转动连接，所述第二电机驱动端上装配有第一齿轮，所述第一齿轮四角处啮合装配有第二齿轮，所述第二齿轮上均固定插接有丝杆，所述丝杆上端转动安装于操作箱上壁面，且丝杆下端转动安装于工作台上壁面，两对所述丝杆分别螺旋贯穿安装板四角处，所述第二电机电源输入端与中央控制系统连接，所述第二电机信号输入端与中央控制系统信号输出端连接。

优选的，所述操作箱右侧壁面开设有箱门，且箱门上设置有观察窗。

优选的，所述支撑座侧面环绕设置有防溅外壳，所述防溅外壳下端安装于工作台上。

优选的，所述防溅外壳内表面以及工作台上表面做抗粘表面处理。

优选的，所述工作台四角处装配有万向轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该带自动滴胶功能的匀胶机结构简单，设计合理，在匀胶过程中，省去了人工亲自操作过程，提高了生产效率，能够自动滴胶并精确控制滴胶量，有效减少浪费的同时保证了基片的洁净度，提高了成膜质量，提升产品良率，降低生产成本。