[实用新型]一种六氟化硫和氮气混气灌充的自循环混合均匀装置

权利要求书

1.一种六氟化硫和氮气混气灌充的自循环混合均匀装置，其特征在于，包括N₂进气口(9)和SF₆进气口(10)，N₂进气口(9)后连接第一流量控制器(8)，SF₆进气口(10)后连接第二流量控制器(11)，第一流量控制器(8)和第二流量控制器(11)后部汇合后通过管线依次串联连接第三电磁阀(7)、第一压缩机(6)、第二电磁阀(5)、缓冲罐(4)、第五电磁阀(13)、第二压缩机(14)和出气口(15)，出气口(15)连接至外部气室，缓冲罐(4)的顶部另设有出口，出口分别连接压力传感器(3)和第一电磁阀(2)，第一电磁阀(2)另一端连接混气比检测模块(1)，缓冲罐(4)的后端与第一压缩机(6)的前端之间通过管路连接有第四电磁阀(12)，混气比检测模块(1)和压力传感器(3)均与电路板电路连接并进行数据传输；第一电磁阀(2)、第二电磁阀(5)、第三电磁阀(7)、第四电磁阀(12)、第五电磁阀(13)的开关以及第一压缩机(6)、第二压缩机(14)的启停均由电路板控制。