[实用新型]一种氮化镓生产用生长杆输送装置

说明书

本实用新型涉及一种氮化镓生产用生长杆输送装置，属于晶体新材料生产技术领域。所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆，对接盘中部开孔，其外侧连接有固定杆支撑装置，固定杆支撑装置包括支撑板和套管，套管连接于支撑板的顶端，套管的一端与对接盘连接，套管中固定有轴承，固定杆从对接盘的中部开孔插入到套管中，从轴承的内圈穿过并固定，一端从对接盘的中部开孔露出，另一端穿过轴承后连接有传动齿轮，传动齿轮连接有动力电机。本实用新型设计的生长杆输送装置由固定杆对氮化镓生产用的生长杆进行固定，将生长杆从卧式的氮化镓生长炉的端部插入到生长炉中，并通过对接盘与生长炉端部的法兰对接，生长杆在动力电机的带动下转动。

技术领域

本实用新型涉及晶体新材料生产技术领域，具体涉及一种氮化镓生产用生长杆输送装置。

背景技术

工业上使用氮化镓生长炉生产制备氮化镓晶体的工艺是在1000℃左右的高温下使用金属镓、氯化氢和氨气进行反应，在生长炉内的籽晶生长杆上生长氮化镓晶体。传统的晶体生长炉为立式，其生长杆一般采用提拉机构插入到炉体中，晶体生长过程中提拉生长杆，此种生长杆的安装方式在卧式的生长炉中却不适用。

发明内容

为解决现有技术中存在的问题，本实用新型专利设计了一种可以用于卧式加热生长炉的氮化镓生产用生长杆输送装置，所述生长杆输送装置包括对接盘和固定杆，所述对接盘中部开有穿孔，其外侧中部连接有固定杆支撑装置，所述固定杆支撑装置包括支撑板和套管，所述套管连接于支撑板的顶端，所述套管的一端与对接盘连接，所述套管中固定有轴承，所述固定杆从对接盘的中部穿孔插入到套管中，所述固定杆从轴承的内圈穿过并固定，所述固定杆的一端从对接盘的中部穿孔露出，另一端穿过轴承后连接有传动齿轮，所述传动齿轮连接有动力电机。本实用新型专利设计的生长杆输送装置的对接盘与生长炉对接固定，通过生长炉对接法兰上的钩件勾连紧固。生长杆连接在固定杆上插入到生长炉中，并在动力电机的带动下转动，使其表面的氮化镓晶体生长均匀。

进一步的，所述生长杆输送装置还包括滑道，所述支撑板下侧连接有平板，所述平板的底部设有滑块，所述滑块卡合在滑道上。输送装置在对接生长炉时通过滑道进行移动。

进一步的，所述对接盘的外侧中部焊接有短管，所述短管与套管同轴，二者直径相同，所述短管通过不锈钢波纹管与套管连接，所述短管的下侧连接有立板，所述立板底部连接有横板，所述横板底部也设有滑块与滑道连接。将生长杆输送装置分成对接盘和套管两部分，并使用可伸缩的波纹管进行密封连接。固定杆连接在套管上，对接盘起与生长炉对接密封的作用，可通过移动套管对生长杆插入到生长炉中的长度进行调节。

进一步的，所述对接盘的内侧表面接近边缘处设有一圈凹槽，所述凹槽中嵌有O型密封圈。

进一步的，所述对接盘的内部设有空腔，所述短管为双层管壁，管壁之间为空腔且与对接盘的内部空腔连通，所述对接盘的外侧面及短管的外侧管壁上分别设有管口并连接有不锈钢管。对接盘和短管上的不锈钢管分别连接循环水，对接盘通循环水进行降温，减少生长炉中的高温对对接盘的影响，O型密封圈不会因为高温环境而减少使用寿命。

进一步的，所述套管为双层管壁，所述套管的外侧管壁的两端对称的设有接管连通两层管壁之间的空腔。接管也可连通循环水进行降温。

进一步的，所述立板与支撑板相对一侧的中部固定有一连接轴承，所述支撑板的中部开有内螺纹孔，所述内螺纹孔与连接轴承的内圈在同一轴心上，所述连接轴承的内圈固定有丝杆，所述丝杆穿过支撑板中部的内螺纹孔，并与之螺纹连接，所述丝杆的端部连接有手轮。通过转动手轮带动丝杆转动，对套管的位置进行调节，从而调节生长杆在生长炉中的位置。

进一步的，所述平板上设有螺栓穿孔并设有定位螺栓，相对应的所述平板下侧的滑道上设有一排定位孔。将套管调节到合适位置后，通过拧动定位螺栓插入定位孔进行定位。