[实用新型]一种高温蓝宝石晶体退火炉

说明书

本实用新型公开了退火炉技术领域的一种高温蓝宝石晶体退火炉，包括退火炉体，退火炉体的内腔设置有支撑架，且支撑架的两端设置在退火炉体的两侧，支撑架的右端设置有控制箱，支撑架的两端均前后对称焊接有支撑侧板，两组支撑侧板之间横向安装有传动螺杆，且传动螺杆的两端分别贯穿两组支撑侧板的侧壁，本实用新型通过将硅钼棒均匀插接在物料架的顶部，且物料架与输送平台之间为插接固定，通过输送平台在传动螺杆上滑动，将带有硅钼棒的物料架运送到升降平台的部位，通过控制升降平台的升降，实现对硅钼棒的安装和拆卸，且能够同步在另一侧进行第二批硅钼棒的安装，方便对硅钼棒的更换，提高退火炉体的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种高温蓝宝石晶体退火炉。

背景技术

蓝宝石晶体具有独特优良的理化性能，其透光范围为0.14～6.0μm，覆盖真空紫外、可见、近红外到中红外波段，且在3～5μm波段具有很高的光学透过率；具有高硬度(仅次于金刚石)、高强度、高热导率、高抗热冲击品质因子的力学及热学性能。蓝宝石以其综合性能最好，成为使用最广泛的氧化物衬底材料。同时蓝宝石晶体还是红外军用装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的优良窗口材料，优质光学材料，耐磨轴承材料等，尤其在导弹整流罩、潜艇窗口和原子钟等军品中具有不可替代的作用。随着智能手机和可穿戴设备的大规模普及流行，使用蓝宝石屏幕也将是其一大亮点。

蓝宝石晶体的生长方法主要有提拉法、泡生法和温度梯度法等几种，随着生长技术的不断开发，长出的蓝宝石晶体的质量也不断增大，同时长晶品质也不断提高。为了提高质量，切割出的晶片需在高温下退火(通常退火温度在1700℃以上)。

传统的电炉设计，物料由自动升降系统进入炉膛，即可进行高温退火，缺点是装卸晶棒比较麻烦，基于此，本实用新型设计了一种高温蓝宝石晶体退火炉，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高温蓝宝石晶体退火炉，以解决上述背景技术中提出的传统的电炉设计，物料由自动升降系统进入炉膛，即可进行高温退火，缺点是装卸晶棒比较麻烦的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高温蓝宝石晶体退火炉，包括退火炉体，所述退火炉体的内腔设置有支撑架，且支撑架的两端设置在退火炉体的两侧，所述支撑架的右端设置有控制箱，所述支撑架的两端均前后对称焊接有支撑侧板，两组所述支撑侧板之间横向安装有传动螺杆，且传动螺杆的两端分别贯穿两组支撑侧板的侧壁，所述控制箱的内腔通过螺栓固定有传动电机，且传动电机的输出轴端通过联轴器与传动螺杆的右端连接，两组所述传动螺杆之间安装水平安装有输送平台，所述输送平台的顶部安放有物料架，所述物料架的顶部均匀插接有硅钼棒，所述退火炉体的内腔下部横向焊接有支撑板，所述支撑板与退火炉体之间呈矩形竖向焊接有四组限位滑杆，四组所述限位滑杆之间安装有升降平台，所述支撑板与退火炉体之间竖向安装有两组定位螺杆，且定位螺杆贯穿升降平台，所述定位螺杆的底端通过联轴器安装有定位电机，所述定位电机的底部焊接有U型支架，且U型支架的顶部通过螺栓与支撑板的底部固定，两组所述传动电机和两组定位电机均通过同步开关和导线与控制箱内腔中的电源箱连接。

优选的，所述输送平台的侧壁开设有与传动螺杆相配合的定位螺孔，所述输送平台的顶部均匀开设有限位凹槽。

优选的，所述物料架的顶部均匀开设有与硅钼棒相配合的硅钼棒插槽，所述物料架的底部竖向均匀固定有支撑杆。

优选的，所述升降平台包括定位滑板，所述定位滑板的顶部四角均开设有与限位滑杆相配合的限位插孔，所述定位滑板的顶部和底部均焊接有与定位螺杆相配合的定位螺母，所述定位滑板的顶部中间开设有U型卡槽，所述定位滑板的顶部焊接有与物料架相配合的U型挡板。