[实用新型]一种用于真空高温炉的加热器

说明书

本实用新型提供了一种用于真空高温炉的加热器，包括加热环以及4个电极臂；加热环为一个闭环的圆环形结构，加热环的环壁分体成4个圆弧形壁；电极臂包括竖向电极臂与L形电极臂，L形电极臂包括竖向部与水平部；本申请中，石墨材质的加热器不再是一体件，而是由多个分体件通过螺栓连接拼成的，第一道螺栓连接将4个圆弧形壁沿圆周方向首尾相连拼成闭环的加热环，第二道螺栓连接将竖向电极臂与L形电极臂连接在一起拼成L形的电极臂；如此使得，当任意一个圆弧形壁或任意一个L形电极臂发生磕碰等损坏后，可以松开螺栓连接，拆卸下损坏件，更换上新件，从而使得加热器不再因一处损坏即报废，降低了石墨材质的加热器的使用成本。

技术领域

本实用新型涉及炉内热场技术领域，尤其是涉及一种用于真空高温炉的加热器。

背景技术

晶体生长高温炉，例如多晶硅铸锭炉与单晶硅长晶炉，创造炉内热场的时候会用到加热器，加热器是由石墨坯体通过计算电阻设计形状加工而成，其中石墨坯体的尺寸根据加热器的尺寸要求而定。根据实际现场情况，加热器从尺寸上多分为24寸、26寸、28寸、32寸等。

目前，国内在CZ单晶炉、半导体等真空高温炉内的加热器的制作过程多为：先制作一个与加热器等外径且等内径的石墨筒，然后用工具切割该石墨筒的筒壁，类似于镂空雕刻该石墨筒的筒壁，将加热器的曲曲折折的形状一点一点地切割或者雕刻出来，切割完成后得到的加热器是一个完整的、没有分体的一体件。

上述的石墨材质的加热器为整个切割而成的一体件，其中有一处磕碰损坏了，整个加热器就报废了，造成加热器的使用成本很高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空高温炉的加热器。

为解决上述的技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种用于真空高温炉的加热器，所述加热器包括用于通电产热的加热环以及4个用于支撑加热环且给加热环供电的电极臂；

所述加热环为一个闭环的圆环形结构，所述加热环的环壁分体成4个圆弧形壁，任意一个圆弧形壁的竖向高度均与所述加热环的轴向高度相等；

所述圆弧形壁上设置有内螺纹通孔，螺栓的螺杆插入一个圆弧形壁上的内螺纹通孔中与另外一个圆弧形壁上的内螺纹通孔中构成螺栓连接以用于将相邻的两个圆弧形壁螺栓连接在一起，4个圆弧形壁沿圆周方向首尾相连拼成闭环的加热环；

所述电极臂呈L形，所述电极臂包括竖向电极臂与L形电极臂，每个圆弧形壁上设置有一个竖向电极臂，4个圆弧形壁与4个竖向电极臂一一对应，所述圆弧形壁与所述竖向电极臂是一体切割成型的一体式结构；

所述L形电极臂包括竖向部与水平部，所述L形电极臂中的竖向部上设置有内螺纹通孔，所述竖向电极臂的底部设置有内螺纹通孔，螺栓的螺杆插入所述竖向电极臂上的内螺纹通孔中与所述L形电极臂中的竖向部上的内螺纹通孔中构成螺栓连接，以用于将所述竖向电极臂与所述L形电极臂螺栓连接在一起；

所述L形电极臂中的水平部上设置有用于套设石墨电极的通孔。

优选的，螺栓连接相邻两个圆弧形壁的螺栓的螺杆上套设有石墨纸垫圈。

优选的，所述螺栓为碳-碳复合材料螺栓。

优选的，所述加热环以及电极臂均为石墨材质。

本实用新型提供了一种用于真空高温炉的加热器，所述加热器包括用于通电产热的加热环以及4个用于支撑加热环且给加热环供电的电极臂；

所述加热环为一个闭环的圆环形结构，所述加热环的环壁分体成4个圆弧形壁，任意一个圆弧形壁的竖向高度均与所述加热环的轴向高度相等，4个圆弧形壁通过螺栓连接沿圆周方向首尾相连拼成闭环的加热环；