[实用新型]一种紫外皮秒激光加工装置

权利要求书

1.一种紫外皮秒激光加工装置，包括紫外皮秒激光器（1），其特征在于：还包括可调平夹具（14）、X-Y移动平台（15）以及依次布置在所述紫外皮秒激光器的输出光路上的第一反射镜（2）、偏振器（3）、第二反射镜（4）、扩束镜（5）、平顶光束整形器（6）、第三反射镜（7）、第四反射镜（8）、合束镜（9）、CCD镜头（10）、孔径光阑（11）和扫描振镜模组（12）；所述可调平夹具（14）包括底板（14-1）、安装于底板上的纵截面为倒T形的支撑块（14-2）以及安装于所述支撑块上的压紧块（14-3），所述底板固定安装于X-Y移动平台上。

2.根据权利要求1所述的紫外皮秒激光加工装置，其特征在于：所述底板（14-1）和支撑块（14-2）均为L形结构，所述底板和支撑块的两端和直角处设有螺纹孔，螺纹孔内旋接有螺柱。

3.根据权利要求2所述的紫外皮秒激光加工装置，其特征在于：在所述底板和支撑块接触面的两侧和直角处分别开设有通孔，所述通孔内分别设有凹槽，所述通孔内设有拉伸弹簧，所述拉伸弹簧的两端分别卡在所述凹槽内。

4.根据权利要求3所述的紫外皮秒激光加工装置，其特征在于：所述压紧块（14-3）通过紧固件安装于所述支撑块（14-2）的L形结构直角位置，且其纵截面为L形结构。

5.根据权利要求4所述的紫外皮秒激光加工装置，其特征在于：还包括Z轴移动系统，所述Z轴移动系统包括立式直线电机模组（17）和由直线电机模组驱动可上下移动的横梁（16），所述第四反射镜、合束镜、孔径光阑和扫描振镜模组从左至右依次安置于所述横梁上，所述合束镜向上呈45°置于第四反射镜之后，所述CCD镜头安置在合束镜正上方。

6.根据权利要求5所述的紫外皮秒激光加工装置，其特征在于：所述平顶光束整形器设置于所述扩束镜的输出端，激光束经所述平顶光束整形器被整形成平顶光束后经过第三反射镜、第四反射镜进入Z轴移动系统；所述第三反射镜、第四反射镜与平面均呈45°设置。

7.根据权利要求6所述的紫外皮秒激光加工装置，其特征在于：所述X-Y移动平台为一块固定在可沿X方向和Y方向移动的两组伺服电机模组上的面包板。