[实用新型]基于气体质量流量控制技术的高压膜透过设备

说明书

本实用新型涉及一种基于气体质量流量控制技术的高压膜透过设备，应用于配气技术领域，包括：依次连接的气体流量控制装置、膜透实验装置和气体分析装置；其中，所述气体流量控制装置，用于输出测试气体，并传输至所述膜透实验装置内，所述测试气体用于膜透实验；所述膜透实验装置，用于通过所述测试气体进行膜透实验；所述气体分析装置，用于分析膜透实验后的气体，以得到实验结果。

技术领域

本实用新型涉及膜透研究技术领域，具体涉及基于气体质量流量控制技术的高压膜透过设备。

背景技术

传统的膜透研究过程中，基本需要以下几个步骤：1、工艺气体和背景气体制备；2、膜透管路搭建；3、定量检测；但是这几个步骤均是通过不同的设备实现的。

在进行研究时，科研人员需要分别自行采购并搭建各个环节的关键设备，其过程安装复杂，有时还需要对各部分进行改装或重新设计，十分浪费时间。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型为了在至少一定程度上克服相关技术中存在的问题，提供一种基于气体质量流量控制技术的高压膜透过设备。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

第一方面，一种基于气体质量流量控制技术的高压膜透过设备，包括：

依次连接的气体流量控制装置、膜透实验装置和气体分析装置；其中，

所述气体流量控制装置，用于输出测试气体，并传输至所述膜透实验装置内，所述测试气体用于膜透实验；

所述膜透实验装置，用于通过所述测试气体进行膜透实验；

所述气体分析装置，用于分析膜透实验后的气体，以得到实验结果。

可选的，所述气体流量控制装置包括用于输出工艺气体的工艺气体输出单元和用于输出背景气体的背景气体输出单元；

所述工艺气体输出单元和背景气体输出单元上均设置有气体质量流量控制器和截止阀；

所述气体质量流量控制器和所述截止阀用于对输出的工艺气体和背景气体的流量进行控制。

可选的，所述膜透实验装置包括膜池、膜池开关结构、膜池密封结构、加热单元；

所述膜池包括上盖、下盖以及输气管道，所述输气管道包括第一输气管道和第二输气管道，所述上盖通过所述第一输气管道输入工艺气体，所述下盖通过所述第二输气管道输入背景气体；

所述膜池开关结构用于开启或关闭所述膜池，所述加热单元设置在所述膜池下盖底部，用于对所述膜池下盖进行加热。

可选的，所述输气管道为多圈盘管气路结构。

可选的，所述膜池密封结构的材质为氟橡胶、丁晴橡胶、全氟橡胶中的任意一种。

可选的，所述膜池开关结构包括电机和丝杠，所述丝杠的一端与所述膜池上盖连接，并带动所述上盖进行上下运动，以开启或关闭所述膜池。

可选的，所述气体控制装置还包括压力传感器和单向阀，所述压力传感器用于检测所述气体流量控制装置内的气压；所述单向阀设置在所述测试气体的输入管路上。

可选的，还包括废弃处理装置，用于对实验后的气体进行处理。

可选的，还包括背压阀，所述背压阀设置在膜池上盖的出口处。

可选的，还包括：人机交互装置，用于对所述气体流量控制装置、膜透实验装置和气体分析装置的参数进行设置。