[实用新型]一种用于多晶硅片的脱胶机有效
申请号: | 202020381340.4 | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN211989983U | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
发明(设计)人: | 黄贤强 | 申请(专利权)人: | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314302 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 硅片 脱胶 | ||
本实用新型提供了一种用于多晶硅片的脱胶机,属于机械技术领域。它解决了现有自动化硅片脱胶机无法密封,在脱胶过程中会有酸气的溢出等技术问题。本用于多晶硅片的脱胶机,包括底座,底座上固定有脱胶水槽,所述脱胶水槽上部具有开口,其特征在于,在底座上还固定有安装支架,安装支架上连接有安装板,安装板上固定有气缸,气缸的活塞杆上固定有盖板,盖板能将所述开口密封住,气缸的活塞杆末端还固定有安装架,安装架通过安装结构设置有用于放置硅片的放置箱,所述脱胶水槽上开设有抽气孔,抽气孔与一抽气管密封连通,抽气管与一抽气泵相连通,脱胶水槽上还设置有用于搅拌的搅拌机构。本实用新型具有使用效果好的优点。
技术领域
本实用新型属于机械技术领域,涉及一种脱胶机,特别是一种用于多晶硅片的脱胶机。
背景技术
多晶硅片的表面洁净度是影响硅片合格率和电池转化效率的关键因素,为了获得洁净纯度高的硅片,往往在硅片经过线切割后需要经过脱胶清洗和精细清洗两个部分,在脱胶清洗过程中,通常会加入一些弱酸等辅助酸液,以达到缩短脱胶时间的目的。
经检索,如中国专利文献公开了一种自动化硅片脱胶机【申请号:201920168347.5;公开号:CN209697606U】。这种种自动化硅片脱胶机,包括存储架、转动架、安装架、脱胶水槽和水箱,其特征在于:所述安装架设置有两个,两个所述安装架的上端皆设置有转动架,两个所述转动架通过转轴分别与两个所述安装架之间转动连接,两个所述转动架上皆均匀安装有六个托盘吊架,前后两侧的所述托盘吊架之间设置有存储架,所述存储架通过转动连接件与两个所述托盘吊架连接,所述存储架内部的右上方位置上安装有防水罩,所述防水罩内部安装有输料电机,所述输料电机的输出轴通过联轴器与转动轴一端转动连接,所述存储架右端的下方位置上安装有传动箱,所述传动箱内部的上方位置上安装有主动锥形齿轮,所述主动锥形齿轮的下方位置上安装有从动锥形齿轮,所述主动锥形齿轮与从动锥形齿轮之间啮合连接,所述从动锥形齿轮与安装架下方位置上的丝杆之间转动连接,所述丝杆上方的安装架上安装有传动架,所述传动架与安装架之间滑动连接,所述传动架与丝杆上的滚珠连接,两个所述安装架之间的下方位置上安装有脱胶水槽,所述脱胶水槽的前方位置上安装有水箱,所述脱胶水槽的右侧位置上安装有抽水泵,所述抽水泵的进水口通过导水管与脱胶水槽之间密封连接,所述抽水泵的出水口通过导水管与水箱的进水口之间密封连接。
该专利中公开的自动化硅片脱胶机虽然具有可以实现自动脱胶清洗的功能,但是,该自动化硅片脱胶机无法密封,在脱胶过程中会有酸气的溢出,对人体和环境会产生危害,因此,设计出一种用于多晶硅片的脱胶机是很有必要的。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种用于多晶硅片的脱胶机,解决了脱胶过程中酸气溢出的问题。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种用于多晶硅片的脱胶机,包括底座,底座上固定有脱胶水槽,所述脱胶水槽上部具有开口,其特征在于,在底座上还固定有安装支架,安装支架上连接有安装板,安装板上固定有气缸,所述气缸的活塞杆竖直向下,气缸的活塞杆上固定有盖板,所述盖板位于脱胶水槽的上方,且盖板能将所述开口密封住,气缸的活塞杆末端还固定有安装架,安装架通过安装结构设置有用于放置硅片的放置箱,所述脱胶水槽上开设有抽气孔,抽气孔与一抽气管密封连通,抽气管与一抽气泵相连通,抽气泵固定在底座上,脱胶水槽上还设置有用于搅拌的搅拌机构。
采用以上结构,脱胶液体中含有弱酸等辅助酸液,在进行脱胶时,气缸推动向下推动盖板,直至盖板将脱胶水槽密封,防止在脱胶过程中酸气的溢出,抽气泵通过抽气管可抽出脱胶过程中的酸气,防止酸气外泄。
所述脱胶水槽上还连通有输液管,输液管与一储存箱相连通,且输液管上还设置有阀门一。
采用以上结构,储存箱内存储有脱胶液体,储存箱通过输液管与脱胶水槽相连通,可以通过控制阀门一来往脱胶水槽内加入脱胶液体,改变以往通过人工加脱胶液体,提高生产效率,同时防止加脱胶液体时酸气的溢出。
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