[实用新型]一种高真空环境控制压力的进气装置有效
| 申请号： | 202020381461.9 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN212354430U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 王亚军;赛建刚;高斌;赵燕;高博;韩磊;张海民;贾琦;于攀龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B64G7/00 | 分类号： | B64G7/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 唐沛 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 环境 控制 压力 装置 | ||
1.一种高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：
包括第一调节阀、一级压力调节腔、细微通道、微调阀以及二级压力调节腔；
外部气体通过第一调节阀与所述一级压力调节腔连通；
细微通道为N条，N≥1；细微通道的直径取值范围为0.01mm-1mm；
N条细微通道进口与所述一级压力调节腔连通，N条细微通道出口分别通过N个微调阀与所述二级压力调节腔连通；微调阀流量调节范围为0.5mL-5mL；
二级压力调节腔与外部待考核器件连通；
所述一级压力调节腔、二级压力调节腔上均安装有真空规。
2.根据权利要求1所述的高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：所述N条细微通道均开设于一个基座上，基座整体安装于一级压力调节腔上。
3.根据权利要求1所述的高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：所述N条细微通道采用N条毛细管。
4.根据权利要求2或3所述的高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：该装置还包括辅助抽真空组件；所述辅助抽真空组件包括辅助抽真空管路、分子泵以及真空干泵；
辅助抽真空管路一端与二级压力调节腔连通，另一端与真空干泵连通，分子泵安装在辅助抽真空管路上，且位于二级压力调节腔与真空干泵之间；分子泵和二级压力调节腔之间，以及分子泵与真空干泵之间均安装有第二调节阀。
5.根据权利要求4所述的高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：所述细微通道数量为8，且每条细微通道的直径不同。
6.根据权利要求5所述的高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：所述一级压力调节腔通过法兰与外部真空罐连通。
7.根据权利要求6所述的高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：所述二级压力调节腔通过第三调节阀以及法兰与外部待考核器件连通。
8.根据权利要求2所述的高真空环境控制压力的进气装置，其特征在于：所述基座与一级压力调节腔配合位置安装有密封圈。
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