[实用新型]一种组合式氦检漏仪装置

说明书

本实用新型公开了一种组合式氦检漏仪装置其包括真空泵、配电箱、移动式框架小车、氦质谱检漏仪、真空计、直角阀、快速连接法兰、冷阱和过滤器等。氦检漏仪装置在一定的真空条件下进行泄漏检测，真空度根据被检测系统的操作条件进行调节。与现有技术相比，该装置采用便携式设计，将氦检漏仪所需要的各部件集成到移动小车上，安装方便、操作简单、移动方便，可以避免非集成式的氦检漏仪检漏时的现场配管问题、供电问题以及由于人为因素和环境因素造成的测量结果不准确的问题。

技术领域

本实用新型属于氦检漏系统技术领域，尤其涉及一种检测真空系统密封性的装置。

背景技术

氦质谱检漏仪是一种在被检测系统内或外，亦或笼罩待检测设备，用于定位和测量泄漏量大小的仪器。示踪气体——氦，被引入到一个与检漏仪相连接的测试区域。氦气通过测试区域的泄漏，其分压会被测量并将结果显示在仪表上。

氦质谱检漏仪可以很快速的测出被检测系统的泄漏点，由于氦检漏仪比较笨重，移动比较麻烦，若直接测量，气体中的颗粒物会直接进入氦质谱检漏仪中，对仪器造成损坏。目前行业中的氦质谱检漏仪普遍为固定式，由于移动困难而质谱仪本身属于精密仪器，易受损毁，因而传统的氦质谱检漏仪在使用和储存过程中故障率居高不下。

为了解决现有技术的难题，本实用新型将提供一种能解决现有问题的方案。

实用新型内容

【1】要解决的技术问题

本实用新型要解决现有技术问题是提供一种设有移动式框架小车组合式氦检漏仪装置，解决移动不便等问题。

【2】解决问题的技术方案

为了解决上述问题，本实用新型采用如下方案：

一种组合式氦检漏仪装置，其包括氦质谱检漏仪、冷阱、真空泵、配电箱与移动式框架小车，所述氦质谱检漏仪、所述冷阱、所述真空泵与所述配电箱之间通过金属软管、快速连接法兰与直角阀连接并置于所述移动式框架小车内，所述冷阱下方的进口处设有用于去除气体中的颗粒物的过滤器，所述氦质谱检漏仪上设有用于气压测量的真空计。

进一步的，所述氦质谱检漏仪上设有用于显示各类数据的LED显示屏。

进一步的，所述冷阱为液氮冷阱。

进一步的，所述真空泵为旋片式真空泵且其极限真空度可达到1x10^-3mbar，抽气量0-350m³/h、工作温度为大于等于0°且小于等于40°。

进一步的，所述过滤器为Y型管道过滤器。

进一步的，所述真空计为电子真空计且其测量范围为大于等于5x10^-4mbar 且小于等于1x10³mbar、测量精度为±5％-±15％，所述电子真空计上设有用于读数的显示器。

进一步的，所述移动式框架小车分为上层与下层，所述上层设有所述氦质谱检漏仪与所述冷阱，所述下层设有所述真空泵与所述配电箱。

进一步的，所述移动式框架小车底部设置有便于整车移动的滑轮。

【3】有益效果

有益效果：本实用新型整体布局紧凑，节省大量空间，同时放置在移动式框架小车中，方便移动，故障频率低，真空泵为氦质谱检漏仪的辅抽泵，能够快速的将被检测系统内部的气体抽出，达到所要求的真空度，在真空泵运行期间，噪声较小，氦质谱检漏仪、冷阱、真空泵和过滤器组合在一个移动式框架小车内，集成式的检漏装置操作非常简单、移动方便，可以避免非集成式的氦检漏仪检漏时的现场配管问题、供电问题以及由于人为因素和环境因素造成的测量结果不准确的问题。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；