[实用新型]一种单晶硅棒竖直定位装置

权利要求书

1.一种单晶硅棒竖直定位装置，其特征在于，包括定位块、浮动球面、及用于锁紧定位块状态的锁紧气缸，所述锁紧气缸通过浮动球面与定位块活动连接。

2.根据权利要求1所述的单晶硅棒竖直定位装置，其特征在于，所述浮动球面包括外球壳和设置于外球壳内的球头，所述外球壳固定设置于定位块底部，所述球头固定设置于锁紧气缸活塞杆端部。

3.根据权利要求1所述的单晶硅棒竖直定位装置，其特征在于，所述定位块底部设置有连接座，所述定位块与连接座活动连接。

4.根据权利要求3所述的单晶硅棒竖直定位装置，其特征在于，所述定位块与连接座之间设有连接螺钉，且连接螺钉的顶部活动套接于定位块内部，且连接螺钉的底部固定嵌入连接座内部。

5.根据权利要求1所述的单晶硅棒竖直定位装置，其特征在于，所述锁紧气缸固定设置于可回转中心轴上，可回转中心轴安装在回转轴承上，可回转中心轴通过回转电机驱动进行旋转进而带动单晶硅棒回转。

6.根据权利要求5所述的单晶硅棒竖直定位装置，其特征在于，所述回转电机输出端与可回转中心轴之间设有联轴器。

7.根据权利要求1所述的单晶硅棒竖直定位装置，其特征在于，还包括探针，所述探针沿竖直方向设置为多个。