[实用新型]MEMS气体流量检测芯片以及智能气体流量仪表

权利要求书

1.一种MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，包括：

基底；

流量传感器以及至少一个环境参数传感器集成在所述基底的正面；

所述基底的正面设置有至少一个第一凹槽；悬空结构，设置在所述第一凹槽之上。

2.根据权利要求1所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述基底包括硅基材料或者玻璃基材料。

3.根据权利要求1所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，至少一个所述环境参数传感器包括第一温度传感器、压力传感器、湿度传感器、气体浓度传感器以及加速度传感器中的一个或多个。

4.根据权利要求1所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述悬空结构覆盖至少部分所述基底除去所述第一凹槽的部分。

5.根据权利要求1所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述悬空结构包括悬臂结构或者桥式结构，在气体流向的方向上，气体通过所述第一凹槽未被所述悬空结构覆盖的第一部分，进入所述第一凹槽，从所述第一凹槽未被所述悬空结构覆盖的第二部分穿出。

6.根据权利要求3所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述流量传感器、所述湿度传感器、所述气体浓度传感器以及所述加速度传感器中的一个或多个，设置在所述悬空结构之上。

7.根据权利要求3所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述基底的背面设置有至少一个第二凹槽，所述流量传感器、所述压力传感器、所述湿度传感器、以及所述气体浓度传感器中的一个或多个，分别位于所述第二凹槽之上。

8.根据权利要求1所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述流量传感器包括至少一个加热单元以及至少一对第二温度传感器和第三温度传感器，每对所述第二温度传感器和所述第三温度传感器关于一所述加热单元对称设置。

9.根据权利要求8所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述加热单元与加热装置电连接。

10.根据权利要求8所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，还包括信号处理单元，分别与所述第二温度传感器以及所述第三温度传感器电连接，计算出气体流量。

11.根据权利要求10所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述信号处理单元与至少一个所述环境参数传感器电连接，用于确定所述环境参数。

12.根据权利要求10或11所述的MEMS气体流量检测芯片，其特征在于，所述信号处理单元集成在所述基底上，或者单独形成在基底外部。

13.一种智能气体流量仪表，其特征在于，包括权利要求1-12任一所述MEMS气体流量检测芯片。