[实用新型]一种单晶元件制备装置有效
| 申请号： | 202020386697.1 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN212077190U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张辉 | 申请（专利权）人： | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B1/06 | 分类号： | C30B1/06;C30B29/02;C30B30/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 元件 制备 装置 | ||
1.一种单晶元件制备装置，包括：密闭壳体，其特征在于，所述单晶元件制备装置还包括：
电磁源模块，设置于所述密闭壳体外部，用于产生交变磁场；
感应模块，设置于所述密闭壳体内部，用于感应所述交变磁场，产生热量；其中，所述感应模块内固定有用于通过高温退火生成所述单晶元件的多晶元件；
所述电磁源模块沿着所述感应模块的延伸方向移动；
温度测量模块，设置于所述电磁源模块上，用于测量所述感应模块对应所述电磁源模块移动位置处的局部温度，并发送所述感应模块的温度信号；
控制模块，接收所述温度信号，并根据所述温度信号对所述电磁源模块的移动进行控制。
2.根据权利要求1所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述电磁源模块包电源单元和移动平台；其中，所述电源单元固定在所述移动平台上。
3.根据权利要求2所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述电源单元包括相互电连接的交流电源和感应线圈；其中，
所述交流电源固定在所述移动平台上；
所述感应线圈绕设在所述密闭壳体外部。
4.根据权利要求3所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述感应线圈固定连接所述交流电源，并随所述交流电源同步移动。
5.根据权利要求4所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述感应线圈的轴向长度小于等于所述感应模块沿所述多晶元件延伸方向长度的1/4。
6.根据权利要求5所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述感应线圈为铜材料。
7.根据权利要求3所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述温度测量模块设置在所述交流电源上。
8.根据权利要求7所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述温度测量模块为红外测温仪。
9.根据权利要求8所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述红外测温仪为双色红外测温仪。
10.根据权利要求9所述的单晶元件制备装置，其特征在于，所述双色红外测温仪的数量至少为1个；
各所述双色红外测温仪沿着所述感应线圈的轴向均匀设置。
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