[实用新型]一种探测CVD金刚石荧光的光路结构有效
申请号: | 202020389340.9 | 申请日: | 2020-03-24 |
公开(公告)号: | CN211856362U | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 刘宏明;赵芬霞 | 申请(专利权)人: | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64;G01N21/01 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 邓凌云 |
地址: | 313000 浙江省湖州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探测 cvd 金刚石 荧光 结构 | ||
1.一种探测CVD金刚石荧光的光路结构,包括双色镜滤波片(1)、长波通滤波片(2)、硅光电探测器(3)和放置筒(4),其特征在于,所述放置筒(4)的内壁固定连接有物镜镜头(5),所述双色镜滤波片(1)位于物镜镜头(5)的上方,且双色镜滤波片(1)与放置筒(4)的内壁固定连接设置,所述放置筒(4)的开口处固定连接有激光发射头(6),且放置筒(4)的侧壁固定连通有与双色镜滤波片(1)相匹配的导管(7),所述长波通滤波片(2)和硅光电探测器(3)均固定设置于导管(7)内,且硅光电探测器(3)的一端穿过导管(7)并向外延伸设置,所述放置筒(4)的筒底还设有金刚石夹持机构,且放置筒(4)外壁的底部固定套接有放置板(8),且放置板(8)上设有吸附机构。
2.根据权利要求1所述的一种探测CVD金刚石荧光的光路结构,其特征在于,所述金刚石夹持机构包括两个活动板(9)、两个弧形夹板(10)和推板(11),两个所述活动板(9)的一端均与推板(11)对的侧壁固定连接,且两个活动板(9)分别靠近放置筒(4)的前后两侧设置,所述放置筒(4)的侧壁开设有与推板(11)相匹配的开口,且推板(11)位于开口内设置,两个所述弧形夹板(10)的两侧壁均固定连接有活动块(12),且活动块(12)的侧壁通过弹簧(13)与活动板(9)固定连接设置。
3.根据权利要求1所述的一种探测CVD金刚石荧光的光路结构,其特征在于,所述吸附机构包括多个吸盘(14)和支撑块(15),多个所述吸盘(14)的顶部均与放置板(8)的底部固定连接,且多个吸盘(14)呈均匀分布设置,所述支撑块(15)的顶部与放置板(8)底部的中心处固定连接。
4.根据权利要求2所述的一种探测CVD金刚石荧光的光路结构,其特征在于,两个所述活动板(9)相背离一侧的侧壁均固定连接有限位块(16),所述放置筒(4)的两侧内壁均开设有与限位块(16)相匹配的限位槽,所述推板(11)相背离活动板(9)一侧的侧壁固定连接有拉手(17)。
5.根据权利要求2所述的一种探测CVD金刚石荧光的光路结构,其特征在于,两个所述弧形夹板(10)相向一侧的侧壁均固定设有橡胶垫片,且橡胶垫片的表面开设有防滑纹。
6.根据权利要求1所述的一种探测CVD金刚石荧光的光路结构,其特征在于,所述双色镜滤波片(1)呈45°设置。
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