[实用新型]一种薄膜器件有效
| 申请号： | 202020391718.9 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212770482U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 四川猛犸半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36;C03C27/12;B32B17/10 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 644000 四川省宜宾市临港经开*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 器件 | ||
1.一种薄膜器件，包括依次层叠的基板、膜层组件、顶层电介质膜层和保护膜层，所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的电介质膜层、银膜层和牺牲膜层，或所述膜层组件包括沿基板向外依次层叠的电介质膜层、牺牲膜层和银膜层，其特征在于：所述膜层组件还包括AgMg膜层和锌锡镁氧化物膜层，所述AgMg膜层和锌锡镁氧化物膜层层叠在银膜层与牺牲膜层之间或银膜层与电介质膜层之间；或所述AgMg膜层和锌锡镁氧化物膜层层叠在银膜层与牺牲膜层之间，同时所述AgMg膜层和/或锌锡镁氧化物膜层层叠在银膜层与电介质膜层之间。
2.根据权利要求1所述的薄膜器件，其特征在于：所述AgMg膜层的厚度为0.05-10nm，所述锌锡镁氧化物膜层的厚度≤15nm。
3.根据权利要求1所述的薄膜器件，其特征在于：所述牺牲膜层的厚度为0.1-8nm。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：所述膜层组件的数量为两个，两个膜层组件依次层叠设置。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：所述膜层组件的数量为三个，三个膜层组件依次层叠设置。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：所述膜层组件的数量为四个，四个膜层组件依次层叠设置。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：该薄膜器件用于制作成夹层薄膜器件或中空薄膜器件。
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