[实用新型]ALD加热炉

权利要求书

1.一种ALD加热炉，包括筒状腔体，筒状腔体的两端设置分别设置前炉门和后炉门，筒状腔体内部设置有导流腔，导流腔的外壁设置有加热组件对导流腔内部进行加热，导流腔的底部设置支撑部件对导流腔进行支撑，导流腔内设置有舟体用于放置硅片，其特征在于：在前炉门处设置进气组件，所述进气组件包括一个导流腔门、外层均流板以及内层均流板，所述导流腔门上设置有锥形凹陷部，在导流腔门上还设置有多个进气口，在导流腔门内部设置有气体通道，气体通道连接进气口，并且在锥形凹陷部的顶点处汇合；外层均流板上设置有透气孔，外层均流板贴合设置在导流腔门上，外层均流板位于与锥形凹陷部对应，内层均流板通过固定住设置导流腔门上，其与外层均流板之间存在间隙，内层均流板上也设置透气孔，且其孔径小于外层均流板孔径；导流腔门与导流腔可以贴合从而在导流腔内形成密闭腔体。

2.根据权利要求1所述的ALD加热炉，其特征在于：所述舟体的尾端连接一个口径逐渐减少的锥形内罩，锥形内罩连接第一排气管，第一排气管穿过尾端的炉门，锥形内罩与舟体端部之间设置一个与均流板，均流板设置矩阵设置多个透气孔。

3.根据权利要求2所述的ALD加热炉，其特征在于：所述导流腔尾端连接一个口径逐渐减少的锥形外罩，锥形外罩连接第二排气管，第二排气管穿过尾端的炉门，且第一排气管位于第二排气管内侧，锥形内罩位于锥形外罩内侧。

4.根据权利要求3所述的ALD加热炉，其特征在于：所述舟体的顶部以及侧壁之间与导流腔内壁之间设置有间隙形成气流通道。

5.根据权利要求4所述的ALD加热炉，其特征在于：所述导流腔的前端部下方设置调节螺母，调节螺母用于调整导流腔前端上下位置。

6.根据权利要求5所述的ALD加热炉，其特征在于：所述导流腔的前端部两侧也设置调节螺母，调节螺母用于调整导流腔前端左右位置。

7.根据权利要求1所述的ALD加热炉，其特征在于：在前炉门上设置有多个导向柱，导流腔门设置在导向柱上，在导向柱上设置有弹簧，弹簧两端分别与前炉门和导流腔门相抵；所述导流腔的前端也设置有进气口，该进气口通过管道接入反应气体；导流腔上进气口与导流腔门上的进气口位置对应。