[实用新型]一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置，其中多晶硅废气深冷处理装置包括缓冲罐、一级换热器和二级换热器。本方案公开的多晶硅废气深冷处理装置延长了氯甲烷在一级换热器内的停留时间，提高了氯甲烷冷量的利用效率，同时将氯甲烷汇聚在一级换热器内，在压力变送器采集的缓冲罐的压力等于或者大于预设压力时，一级换热器的氯甲烷才会通过第一电控调压阀送入淋洗塔，通过淋洗塔对氯甲烷进行集中处理，提高了对氯甲烷的淋洗效果，而且减少了淋洗塔的淋洗次数，降低了氯甲烷的处理成本，也就降低了废气的处理成本。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅加工技术领域，特别涉及一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置。

背景技术

多晶硅生产过程包含有还原、冷氢化、精馏和回收等多个工序，上述工序中产生的废气首先通过废气深冷装置回收氯硅烷，再进入淋洗塔进行喷淋。

现有技术中废气深冷处理装置实时向淋洗塔送入的氯甲烷，淋洗塔需要频繁反复开启，导致氯甲烷的处理成本相对较高，从而废气的处理成本也增高。

因此，如何降低氯甲烷的处理成本，同时降低废气的处理成本，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种多晶硅废气深冷处理装置，以降低氯甲烷的处理成本，同时降低废气的处理成本。本实用新型还提供了一种多晶硅废气处理装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种多晶硅废气深冷处理装置，包括：

缓冲罐，所述缓冲罐上设置有压力变送器；

一级换热器，所述一级换热器的第一进口与所述缓冲罐连通，所述一级换热器的第一出口通过第一管路与淋洗塔连接，所述第一管路上设置有第一电控调压阀，所述第一电控调压阀与所述压力变送器通信连接；

二级换热器，所述二级换热器的第二进口与所述一级换热器的第二出口连通，用于所述一级换热器冷却后的氯甲烷，所述二级换热器的第二出口与所述一级换热器的第二进口连通用于向所述一级换热器输入温度较低的氯甲烷，所述二级换热器的第三出口用于输出冷却后的氯甲烷。

优选的，在上述多晶硅废气深冷处理装置中，还包括与所述第一管路并联的第二管路，所述第二管路上设置有第二电控调压阀，所述第二电控调压阀与所述压力变送器通信连接。

优选的，在上述多晶硅废气深冷处理装置中，所述二级换热器上设置有两个所述第三出口，两个所述第三出口分别位于所述二级换热器的上端和下端。

优选的，在上述多晶硅废气深冷处理装置中，所述第一电控调压阀的通径大于所述第二电控调压阀的通径。

优选的，在上述多晶硅废气深冷处理装置中，还包括集水箱，所述集水箱与所述一级换热器和所述二级换热器均连通。

优选的，在上述多晶硅废气深冷处理装置中，所述集水箱与所述缓冲罐连通。

优选的，在上述多晶硅废气深冷处理装置中，还包括与所述集水箱连通的水泵。

一种多晶硅废气处理装置，包括多晶硅废气深冷处理装置和淋洗塔，所述淋洗塔与所述多晶硅废气深冷处理装置的一级换热器连接，所述多晶硅废气深冷处理装置为上述任意一个方案中记载的所述多晶硅废气深冷处理装置。