[实用新型]一种超硬材料切割横截面的激光抛光装置

权利要求书

1.一种超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，包括可沿X轴和Y轴方向移动的XY平台以及两组对称设于XY平台上方的第一激光抛光装置和第二激光抛光装置；所述第一激光抛光装置包括竖直设于XY平台上方的第一激光烧蚀头、用于发射激光的纳秒激光器以及将激光传输入第一激光烧蚀头内的第一光路传导镜组；所述第二激光抛光装置包括竖直设于XY平台上方的第二激光烧蚀头、用于发射激光的飞秒激光器以及将激光传输入第二激光烧蚀头内的第二光路传导镜组。

2.如权利要求1所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述纳秒激光器和飞秒激光器朝相反方向水平设置，所述第一光路传导镜组和第二光路传导镜组均包括两个呈45度角倾斜并相对设置的第一反射镜和第二反射镜，所述第一反射镜用于接收纳秒激光器或飞秒激光器发出的激光束并将激光束纵向传输至第二反射镜，所述第二反射镜用于接收第一反射镜传输来的激光束并将激光束横向传输至第一激光烧蚀头或第二激光烧蚀头。

3.如权利要求2所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述第一反射镜与纳秒激光器和飞秒激光器之间均设有扩束镜。

4.如权利要求3所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述第一激光烧蚀头或第二激光烧蚀头均包括由上往下依次设置的扫描振镜和场镜，通过所述扫描振镜接收所述第二反射镜传输来的激光束。

5.如权利要求1-4任一项所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述纳秒激光器采用波长为515～532nm的绿光或1030～1064nm的红外光，脉宽为50～100ns，频率100～300KHz；所述飞秒激光器采用波长为515～532nm的绿光或1030～1064nm的红外光，脉宽为50～900fs，频率150～1000KHz。

6.一种超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，包括可沿X轴和Y轴方向移动的XY平台以及设于XY平台上方的激光抛光装置，所述激光抛光装置包括竖直设于XY平台上方的激光烧蚀头、用于发射激光的飞秒激光器以及将飞秒激光器发出的激光传输入激光烧蚀头内的第一光路传导镜组，还包括与所述飞秒激光器平行设置的纳秒激光器以及将纳秒激光器发出的激光传输至第一光路传导镜组的第二光路传导镜组，所述第二光路传导镜组中包括一个可拆卸设于所述飞秒激光器与第一光路传导镜组之间并呈45度角倾斜设置的第三反射镜。

7.如权利要求6所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述纳秒激光器和飞秒激光器水平设置并呈上下平行分布，所述第一光路传导镜组包括两个呈45度角倾斜并相对设置的第一反射镜和第二反射镜，所述第二光路传导镜组还包括一个呈45度角倾斜并与第三反射镜相对设置的第四反射镜，所述第四反射镜用于接收纳秒激光器发出的激光束并将激光束纵向传输至第三反射镜，所述第三反射镜用于接收第四反射镜传输来的激光束并将激光束横向传输至第一反射镜，所述第一反射镜用于接收飞秒激光器发出的激光束或接收第三反射镜传输来的激光束并将激光束纵向传输至第二反射镜，所述第二反射镜用于接收第一反射镜传输来的激光束并将激光束横向传输至所述激光烧蚀头。

8.如权利要求7所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述第四反射镜与纳秒激光器设有扩束镜，所述第三反射镜与飞秒激光器之间也设有扩束镜。

9.如权利要求8所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述激光烧蚀头包括由上往下依次设置的扫描振镜和场镜，通过所述扫描振镜接收所述第二反射镜传输来的激光束。

10.如权利要求6-9任一项所述的超硬材料切割横截面的激光抛光装置，其特征在于，所述纳秒激光器采用波长为515～532nm的绿光或1030～1064nm的红外光，脉宽为50～100ns，频率100～300KHz；所述飞秒激光器采用波长为515～532nm的绿光或1030～1064nm的红外光，脉宽为50～900fs，频率150～1000KHz。