[实用新型]一种用于超纯水制造的抛光系统

说明书

本实用新型提供了一种用于超纯水制造的抛光系统，其可同时高效降低超纯水中的溶解氮和溶解氧浓度。其包括超纯水箱，所述超纯水箱与预处理系统和制成系统连接，所述超纯水箱通过超纯水泵顺次连接有换热器、TOC‑UV装置、增压泵、离子交换装置、脱气膜系统、终端超滤装置、超纯水使用点；所述脱气膜系统包括顺次连接的第一脱气膜装置和第二脱气膜装置，所述第一脱气膜装置采用氮气吹扫加抽真空的运行模式，所述第二脱气膜装置采用抽真空的运行模式。

技术领域

本实用新型涉及水处理技术领域，具体为一种用于超纯水制造的抛光系统。

背景技术

在目前超纯水系统中，经过预处理系统和制成系统的纯水，还需要经过抛光系统的循环处理才能达到最终的供水需求，在抛光系统中，通常采用换热器，TOC-UV、离子交换装置、脱气膜和终端超滤的组合，来满足最终的供水的需求，目前比较常用的脱气膜装置主要采用氮气吹扫＋真空抽气的方式对溶解氧进行去除，对溶解氧的去除率可以达到99.9%以上。

近年来，超纯水所含的溶解氮对半导体制品带来的不利影响己经成为问题，降低超纯水中的溶解氮浓度成为重要的技术课题，目前超纯水的处理系统为了达到更高的溶解氧的去除率，脱气膜装置采用的是氮气吹扫＋真空抽气的方式，但是氮气吹扫必然会导致溶解氮的去除率下降，无法达到更低的溶解氮含量，而单独进行真空抽气的脱气膜装置对于溶解氧的去除率就会从99.9%下降到90%。

实用新型内容

针对现在超纯水制造系统制造的超纯水溶解氮含量较高的问题，本实用新型提供了一种用于超纯水制造的抛光系统，其可同时高效降低超纯水中的溶解氮和溶解氧浓度。

其技术方案是这样的：一种用于超纯水制造的抛光系统，其包括超纯水箱，所述超纯水箱与预处理系统和制成系统连接，所述超纯水箱通过超纯水泵顺次连接有换热器、TOC-UV装置、增压泵、离子交换装置、脱气膜系统、终端超滤装置、超纯水使用点；所述脱气膜系统包括顺次连接的第一脱气膜装置和第二脱气膜装置，所述第一脱气膜装置采用氮气吹扫加抽真空的运行模式，所述第二脱气膜装置采用抽真空的运行模式。

优选的，所述离子交换装置为混床式离子交换装置，其内部填充有抛光树脂。

优选的，所述第一脱气膜装置和所述第二脱气膜装置分别连接有第一真空泵和第二真空泵；所述第一脱气膜装置连接有氮气储罐。

优选的，所述超纯水使用点与所述超纯水箱连接。

优选的，所述终端超滤装置还连接有浓水池。

本实用新型带来的有益效果：相比于传统的超纯水抛光系统采用的氮气吹扫加真空的运行模式的脱气膜装置，本实用新型采用了两级不同运行方式的脱气膜装置，分别采用氮气吹扫加真空和抽真空的方式，使最终出水中的超纯水可以同时达到极低的溶解氧和溶解氮浓度，提高终端超纯水的出水水质。

附图说明

图1为本实用新型系统框图；

图2为混床式离子交换装置的示意图。

具体实施方式

如图1所示的一种用于超纯水制造的抛光系统，其包括超纯水箱2，超纯水箱2与预处理系统和制成系统1连接，超纯水箱2连接有超纯水泵3和换热器4，其还包括与超纯水箱2顺次连接的TOC-UV装置5（紫外线氧化装置可以采用aquafine的SCD H系列）、增压泵6、离子交换装置7、第一脱气膜装置8、第二脱气膜装置10、终端超滤装置12、超纯水使用点13；第一脱气膜装置8采用氮气吹扫加抽真空的运行模式，第二脱气膜装置10采用抽真空的运行模式，第一脱气膜装置8和第二脱气膜装置10分别连接有第一真空泵9和第二真空泵11；第一脱气膜装置8连接有氮气储罐14，终端超滤装置12还连接有浓水池15。