[实用新型]一种高真空多层绝热高频气动阀

权利要求书

1.一种高真空多层绝热高频气动阀，包括阀体外管（1），其特征在于：所述阀体外管（1）内固定安装有阀座（2），阀座（2）内滑动安装有阀针（3），阀针（3）的顶部延伸至阀座（2）外，阀体外管（1）的一侧固定连接有进液管（4），进液管（4）与阀体外管（1）内部相连通，阀体外管（1）的底部固定安装有外管座（5），外管座（5）的底部固定连接有出液管（6），出液管（6）与阀体外管（1）内部相连通，阀体外管（1）的上方设有气缸（13），气缸（13）的底部固定安装有气缸上法兰（14），气缸上法兰（14）的下方设有气缸下法兰（7），气缸下法兰（7）的底部与阀体外管（1）的顶部固定连接，气缸（13）的输出轴端与阀针（3）的顶部固定连接，进液管（4）的顶部固定安装有泄压壳（8），泄压壳（8）的底部为开口构造，泄压壳（8）与进液管（4）相连通，泄压壳（8）的顶部内壁上固定安装有固定柱（9），固定柱（9）的底部开设有滑槽（10），滑槽（10）内滑动安装有滑杆（11），滑杆（11）的底端延伸至滑槽（10）外并固定安装有活动座（12）。

2.根据权利要求1所述的一种高真空多层绝热高频气动阀，其特征在于：所述气缸上法兰（14）和气缸下法兰（7）之间固定连接有同一个密封垫（15）。

3.根据权利要求1所述的一种高真空多层绝热高频气动阀，其特征在于：所述活动座（12）的顶部固定安装有套设在滑杆（11）上的弹簧（16），弹簧（16）的顶端与固定柱（9）的底部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种高真空多层绝热高频气动阀，其特征在于：所述泄压壳（8）的一侧固定安装有泄压管（17），泄压管（17）与泄压壳（8）内部相连通，泄压管（17）上固定安装有单向阀。

5.根据权利要求1所述的一种高真空多层绝热高频气动阀，其特征在于：所述活动座（12）上固定套设有密封套（18），活动座（12）通过密封套（18）与泄压壳（8）的内壁滑动密封配合。

6.根据权利要求1所述的一种高真空多层绝热高频气动阀，其特征在于：所述滑槽（10）的两侧内壁上均开设有限位槽，滑杆（11）的两侧均固定安装有限位杆，两个限位杆分别滑动安装在相对应的限位槽内。