[实用新型]一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器有效
申请号: | 202020412786.9 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212206126U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 周剑;殷长帅;颜凌波;段辉高;尹小波;陈哲 | 申请(专利权)人: | 湖南大学 |
主分类号: | G01D5/48 | 分类号: | G01D5/48 |
代理公司: | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 | 代理人: | 王翀;阳江军 |
地址: | 410082 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 结构 超高 灵敏度 表面波 紫外 传感器 | ||
1.一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,包括压电衬底(1),压电衬底(1)上覆盖有电极层,电极层包括叉指换能器(2),叉指换能器(2)外侧安装有反射栅(3),叉指换能器(2)上覆盖有ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)。
2.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述叉指换能器(2)为两个,两个叉指换能器(2)处于压电衬底(1)中部相对设置,一个ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)覆盖在两个叉指换能器(2)上。
3.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述压电衬底为铌酸锂压电衬底、钽酸锂压电衬底、石英压电衬底、锆钛酸铅压电衬底或聚偏氟乙烯压电衬底。
4.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述反射栅为开路反射栅或者短路反射栅。
5.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,叉指换能器(2)和反射栅(3)的制作材料为铝、金、银、铜、铬、钼、镍、钛、钨、掺铝氧化锌、氧化铟、银纳米线、二硫化钼、石墨烯或氧化铟锡制成。
6.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述叉指换能器(2)和反射栅(3)的厚度为1nm~300nm。
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