[实用新型]一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器

权利要求书

1.一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，包括压电衬底(1)，压电衬底(1)上覆盖有电极层，电极层包括叉指换能器(2)，叉指换能器(2)外侧安装有反射栅(3)，叉指换能器(2)上覆盖有ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)。

2.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，所述叉指换能器(2)为两个，两个叉指换能器(2)处于压电衬底(1)中部相对设置，一个ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)覆盖在两个叉指换能器(2)上。

3.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，所述压电衬底为铌酸锂压电衬底、钽酸锂压电衬底、石英压电衬底、锆钛酸铅压电衬底或聚偏氟乙烯压电衬底。

4.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，所述反射栅为开路反射栅或者短路反射栅。

5.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，叉指换能器(2)和反射栅(3)的制作材料为铝、金、银、铜、铬、钼、镍、钛、钨、掺铝氧化锌、氧化铟、银纳米线、二硫化钼、石墨烯或氧化铟锡制成。

6.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器，其特征在于，所述叉指换能器(2)和反射栅(3)的厚度为1nm～300nm。