[实用新型]一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器有效

专利信息
申请号: 202020412786.9 申请日: 2020-03-27
公开(公告)号: CN212206126U 公开(公告)日: 2020-12-22
发明(设计)人: 周剑;殷长帅;颜凌波;段辉高;尹小波;陈哲 申请(专利权)人: 湖南大学
主分类号: G01D5/48 分类号: G01D5/48
代理公司: 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 44260 代理人: 王翀;阳江军
地址: 410082 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 结构 超高 灵敏度 表面波 紫外 传感器
【权利要求书】:

1.一种复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,包括压电衬底(1),压电衬底(1)上覆盖有电极层,电极层包括叉指换能器(2),叉指换能器(2)外侧安装有反射栅(3),叉指换能器(2)上覆盖有ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)。

2.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述叉指换能器(2)为两个,两个叉指换能器(2)处于压电衬底(1)中部相对设置,一个ZnO纳米线/石墨烯量子点复合结构敏感层(4)覆盖在两个叉指换能器(2)上。

3.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述压电衬底为铌酸锂压电衬底、钽酸锂压电衬底、石英压电衬底、锆钛酸铅压电衬底或聚偏氟乙烯压电衬底。

4.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述反射栅为开路反射栅或者短路反射栅。

5.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,叉指换能器(2)和反射栅(3)的制作材料为铝、金、银、铜、铬、钼、镍、钛、钨、掺铝氧化锌、氧化铟、银纳米线、二硫化钼、石墨烯或氧化铟锡制成。

6.如权利要求1所述的复合结构的超高灵敏度声表面波紫外传感器,其特征在于,所述叉指换能器(2)和反射栅(3)的厚度为1nm~300nm。

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