[实用新型]一种电磁式微型变量隔膜真空泵

权利要求书

1.一种电磁式微型变量隔膜真空泵，其特征在于：包括电磁线圈总成（6）、静铁芯（8）、动铁芯（11）、束磁环（5）、弹簧（10）、导套（9）、膜片（3）、膜片台（4）、泵盖（7）、外壳（12）；所述导套（9）、弹簧（10）、动铁芯（11）均安装于所述电磁线圈总成（6）的中间通道内，所述电磁线圈总成（6）的中间通道的一端装有静铁芯（8），另一端装有束磁环（5）；所述静铁芯（8）包括一块具有轴孔的圆盘状束磁板（8a），所述动铁芯（11）包括一根连杆以及设置在连杆上的凸台部，所述弹簧（10）和导套（9）穿设在动铁芯（11）的连杆上且位于凸台部与静铁芯（8）之间，所述动铁芯（11）的连杆一端向外穿过束磁环（5）的通孔，另一端向外穿过束磁板（8a）的轴孔，连杆两端的端部各与一块膜片（3）固定连接，两块膜片（3）均通过膜片台（4）进行固定；所述电磁线圈总成（6）、静铁芯（8）、束磁环（5）、膜片（3）、膜片台（4）均内置于圆筒状的外壳（12）内，其中束磁板（8a）、外壳（12）和束磁环（5）三者共同组成束磁磁路；所述外壳（12）的两端各安装有一个泵盖（7），每个泵盖（7）上均设有一个进气孔（7b）和一个排气孔（7c），进气孔（7b）和排气孔（7c）均只能进行单向通气；所述电磁线圈总成（6）与PWM信号相连，通过PWM控制电磁力的交替以及在弹簧（10）弹力的共同作用下，实现动铁芯（11）以接近PWM信号的频率在静铁芯（8）和束磁环（5）之间轴向往复运动，从而带动膜片（3）变形实现吸气和排气动作。

2.根据权利要求1所述的电磁式微型变量隔膜真空泵，其特征在于：所述动铁芯（11）的凸台部朝向静铁芯（8）的一端设有直径小于凸台部的阶梯凸台（11c），所述静铁芯（8）上设有与所述阶梯凸台（11c）相对应的凹槽（8b），动铁芯（11）阶梯凸台（11c）在动铁芯（11）与静铁芯（8）吸合过程中会伸进静铁芯（8）的凹槽（8b）中。

3.根据权利要求1或2所述的电磁式微型变量隔膜真空泵，其特征在于：所述动铁芯（11）的凸台部上设有轴向的气压平衡槽（11a）和环形的储油槽（11b）。

4.根据权利要求1或2所述的电磁式微型变量隔膜真空泵，其特征在于：所述泵盖（7）的进气孔（7b）内装有单向阀片（1）和进气堵塞（13），进气孔（7b）底部为平面，与之相配合的进气堵塞（13）设有堵塞锥面（13a），单向阀片（1）装配在泵盖进气孔（7b）与进气堵塞（13）之间，实现进气单向阀的功能；所述泵盖（7）的排气孔（7c）内装有单向阀片（1）和排气堵塞（2），泵盖排气孔（7c）底部为锥面底（7a），与之相配合的排气堵塞（2）为平面，单向阀片（1）装配在泵盖排气孔（7c）与排气堵塞（2）之间，实现排气单向阀的功能。

5.根据权利要求1或2所述的电磁式微型变量隔膜真空泵，其特征在于：所述膜片台（4）为非磁性材料压铸成形，膜片台（4）上设有环形的膜片安装槽（4c）、气压平衡孔（4b）。

6.根据权利要求1或2所述的电磁式微型变量隔膜真空泵，其特征在于：所述外壳（12）的两端端部设有安装齿（12a），所述泵盖（7）的周缘设有与外壳安装齿相互交错的限位凸缘（7d），所述膜片台（4）的周缘设有限位块（4a），外壳的安装齿（12a）配合泵盖（7）的限位凸缘（7d）以及膜片台（4）的限位块（4a），能很好的保证零部件的安装位置。