[实用新型]一种多晶铸锭坩埚喷涂台

说明书

本实用新型公开了一种多晶铸锭坩埚喷涂台，涉及多晶硅技术领域。其喷涂台包括坩埚加热板和加热板垫片；所述坩埚加热板用于承托并加热石英坩埚，所述加热板垫片放置在所述坩埚加热板和石英坩埚之间，所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。本实用新型提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台，能够实时判断出坩埚涂层质量，及时调整喷涂工艺，改善涂层效果，提高喷涂效率，降低工作量。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅技术领域，尤其涉及一种多晶铸锭坩埚喷涂台。

背景技术

坩埚喷涂是多晶铸锭的第一个步骤，由于在多晶铸锭过程中，多使用陶瓷石英坩埚盛装硅料，在高温化料过程中，熔融状态的硅会与坩埚发生粘连，同时，坩埚中的杂质也会进入到硅碇内部，从而降低硅碇的品质。因此，在装料前，需在坩埚表面涂覆一层氮化硅涂层用来使坩埚与硅碇隔离，确保不会粘连，同时阻止坩埚中的杂质进入到硅碇内部，确保硅碇品质。

目前多采用成本低廉，易操作的机械臂自动热喷涂方式来进行氮化硅涂层的涂覆。由于喷涂的涂层较薄，在喷涂过程中容易出现涂层薄厚不均匀，部分位置未喷涂到等现象。从而引起涂层缺失、脱落。导致硅碇引入杂质、裂纹，影响品质。

因此，亟需一种能够实现对坩埚喷涂均匀、喷涂方便的多晶铸锭坩埚喷涂台。

实用新型内容

为了解决现有技术的不足，本实用新型的主要目的在于提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台，能够实时判断出坩埚涂层质量，及时调整喷涂工艺，改善涂层效果。

本实用新型提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台，还能够节省人员上下搬运检查的工序，提高喷涂效率，降低工作量。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种多晶铸锭坩埚喷涂台，包括坩埚加热板和加热板垫片；所述坩埚加热板用于承托并加热石英坩埚，所述加热板垫片放置在所述坩埚加热板和石英坩埚之间，所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。

可选地，还包括控制器，所述控制器与所述照明装置电连接，以控制所述照明装置的工作启停。

可选地，所述坩埚加热板包括底部和四个侧部，组成上部开口的箱型结构。

可选地，所述加热板垫片的形状与所述坩埚加热板内表面形状相同，包括垫片底部和垫片侧部，组成上部开口的箱型结构。

可选地，所述加热板垫片的垫片底部和垫片侧部均设有若干个孔洞，所述孔洞均匀分布，所述孔洞内均设置有所述照明装置。

可选地，所述照明装置设置于所述孔洞内预定深度。

可选地，所述照明装置为密封的耐高温强光灯。

可选地，所述坩埚加热板为不锈钢制成；所述加热板垫片的材质为耐高温硅胶。

本实用新型提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台，包括坩埚加热板和加热板垫片；所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。在生产过程中，石英坩埚装在喷涂台上，打开照明装置，由于未喷涂的石英坩埚透光性较好，而喷涂上氮化硅浆液之后，透光度降低，根据石英坩埚喷涂后各区域明暗强度不同，可以判断出坩埚涂层质量，实时调整喷涂工艺，改善喷涂效果。

本实用新型提供的一种多晶铸锭坩埚喷涂台，在利用喷涂组件对所述待喷涂石英坩埚进行喷涂时，通过照明装置实时对石英坩埚进行照明，根据石英坩埚喷涂后各区域明暗强度不同，可以判断出坩埚涂层质量，实时调整喷涂工艺，对暗区增加喷涂时间，使喷涂后，石英坩埚的各区域明暗强度相同，即可确认氮化硅涂层喷涂均匀。

附图说明