[实用新型]一种晶圆片清洗机

权利要求书

1.一种晶圆片清洗机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的四周设有正压防护板(2)，所述机体(1)内部位于正压防护板(2)内侧设有防水隔板(3)，所述机体(1)的顶部设有出气孔(4)，所述机体(1)的顶部内壁等距固定有三个分隔气缸(5)，所述分隔气缸(5)的输出轴均固定有分隔板(6)，且分隔板(6)位于防水隔板(3)围成的区域内侧，所述分隔板(6)将防水隔板(3)围成的区域从左向右依次分割成初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)、次级水洗室(9)和烘干室(10)，所述机体(1)内部位于正压防护板(2)和防水隔板(3)之间对称固定有导轨(11)，所述导轨(11)上滑动连接有输送车(12)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)和次级水洗室(9)内均安装有刷洗装置(13)，所述刷洗装置(13)包括安装板(14)、转轴(15)、毛刷(16)、从动齿轮(17)、电机座(18)、伺服电机(19)和主动齿轮(20)，所述机体(1)内固定有安装板(14)，所述安装板(14)内嵌入转动连接有若干个转轴(15)，所述转轴(15)的底端套设有毛刷(16)，所述转轴(15)的顶端均固定有从动齿轮(17)，且相邻的从动齿轮(17)之间相互啮合，所述安装板(14)的顶部固定有电机座(18)，所述电机座(18)的顶部固定有伺服电机(19)，所述伺服电机(19)的输出轴固定有主动齿轮(20)，且主动齿轮(20)与从动齿轮(17)啮合连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)、次级水洗室(9)和烘干室(10)的内部均固定有连接板(21)，所述连接板(21)内均嵌入固定有若干个管道(22)，且管道(22)的底端呈密封状，所述管道(22)的侧壁设有若干个通孔，所述机体(1)内部安装有水泵(23)和过滤器(24)，所述水泵(23)的进水端通过水管与清洗剂洗涤室(8)底部的出水口连通，所述水泵(23)的出水端通过水管与过滤器(24)的进水端连通，所述过滤器(24)的出水端通过水管与连通清洗剂洗涤室(8)内的管道(22)连通。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述输送车(12)包括收水板(25)、端板(26)、胶辊(27)、滑块(29)、第一减速电机(30)、皮带轮(31)、皮带(32)、第二减速电机(33)、驱动齿轮(34)和第二减速电机(33)，所述收水板(25)的两端均固定有端板(26)，所述收水板(25)内侧设有四个胶辊(27)，且胶辊(27)的两端分别与两个端板(26)转动连接，所述胶辊(27)的侧壁设有限位槽(28)，且限位槽(28)正对毛刷(16)之间的缝隙，所述端板(26)的一侧固定有滑块(29)，且滑块(29)滑动连接在导轨(11)上，其中一个滑块(29)顶部固定有第一减速电机(30)，所述第一减速电机(30)的输出轴和胶辊(27)的一端均固定有皮带轮(31)，且皮带轮(31)之间通过皮带(32)传动连接，其中一个所述滑块(29)一侧固定有第二减速电机(33)，所述第二减速电机(33)的输出轴固定有驱动齿轮(34)，所述机体(1)设有条形齿轮带(35)，且条形齿轮带(35)的两端均与机体(1)固定连接，所述条形齿轮带(35)与驱动齿轮(34)啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述导轨(11)的外侧安装有风琴罩(36)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述机体(1) 的两端均设有密封门(37)，所述机体(1)内部固定有密封气缸(38)，所述密封气缸(38)的输出轴端部与密封门(37)的顶端固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述初级水洗室(7)、清洗剂洗涤室(8)、次级水洗室(9)和烘干室(10)的底部均倾斜设置。

8.根据权利要求4所述的一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述第一减速电机(30)和第二减速电机(33)外侧罩设有防护罩(39)。